[实用新型]机台冷却水调节装置有效

专利信息
申请号: 201921401650.1 申请日: 2019-08-22
公开(公告)号: CN210272274U 公开(公告)日: 2020-04-07
发明(设计)人: 曹靖波;俞玮;何春雷 申请(专利权)人: 上海华力集成电路制造有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 代理人: 顾浩
地址: 201314*** 国省代码: 上海;31
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 机台 冷却水 调节 装置
【权利要求书】:

1.一种机台冷却水调节装置,其特征在于,包括:

一管路,用以流动所述冷却水,所述冷却水具有一水流方向;

一流量侦测器,用以侦测管路中冷却水的流量;

一调节控制器,所述调节控制器与所述流量侦测器连接;

一流量调节阀,所述流量调节阀安装在所述管路中,所述流量调节阀位于所述流量侦测器的水流方向的上游,所述流量调节阀与所述调节控制器连接。

2.如权利要求1所述的机台冷却水调节装置,其特征在于,还包括:一压力调节阀,所述压力调节阀安装在所述管路中,所述压力调节阀位于所述流量调节阀的水流方向的上游。

3.如权利要求1所述的机台冷却水调节装置,其特征在于,所述流量侦测器包含一容积式流量计、或差压流量计、或浮子流量计、或涡轮流量计、或电磁流量计、或涡街流量计、或超声流量计、或质量流量计、或插入式流量计。

4.如权利要求1或3所述的机台冷却水调节装置,其特征在于,所述流量侦测器输出一测得电压值,所述测得电压值与所述流量相关。

5.如权利要求4所述的机台冷却水调节装置,其特征在于,所述调节控制器包含一比例积分微分控制器,所述比例积分微分控制器有一设定电压值,所述测得电压值作为反馈与所述设定电压值比较得到电压差值,所述电压差值输入至所述比例积分微分控制器中的比例积分微分控制电路中,输出一执行电压值,所述执行电压值连接所述流量调节阀。

6.如权利要求1所述的机台冷却水调节装置,其特征在于,所述流量调节阀包含一蝶形阀。

7.如权利要求6所述的机台冷却水调节装置,其特征在于,所述蝶形阀包含一阀腔、一阀板、一转轴、一连杆、一流体缸、一电磁阀,所述转轴包含一轴头,所述转轴与所述阀板相连,所述轴头位于阀腔外部,所述轴头与所述连杆相连,所述流体缸与所述连杆相连,所述电磁阀与所述调节控制器连接。

8.如权利要求7所述的机台冷却水调节装置,其特征在于,所述流量侦测器输出一测得电压值,所述测得电压值与所述流量相关;

所述调节控制器有一设定电压值,所述测得电压值与所述设定电压值的差值为一电压差值,所述电压差值输入至所述调节控制器输出一执行电压值;

所述电磁阀具有一静止位、一第一通路位、一第二通路位,所述电磁阀包含一进油口、一卸油口、一第一控制口、一第二控制口,所述流体缸包含一第一油口和一第二油口,所述第一控制口和第一油口相连,所述第二控制口和第二油口相连;

在所述第一通路位,所述第一控制口与所述进油口连接,所述第二控制口与所述卸油口相连;

在所述第二通路位,所述第一控制口与所述卸油口连接,所述第二控制口与所述进油口相连;

所述执行电压值连接所述电磁阀,驱动电磁阀在所述静止位、第一通路位、第二通路位之间运动。

9.如权利要求6所述的机台冷却水调节装置,其特征在于,所述蝶形阀包含一阀腔、一阀板、一转轴、一电机,所述转轴包含一轴头,所述转轴与所述阀板相连,所述轴头位于阀腔外部,所述轴头与所述电机相连,所述电机与所述调节控制器连接。

10.如权利要求9所述的机台冷却水调节装置,其特征在于,所述电机为一步进电机。

11.如权利要求10所述的机台冷却水调节装置,其特征在于,所述流量侦测器输出一测得电压值,所述测得电压值与所述流量相关;

所述调节控制器有一设定电压值,所述测得电压值与所述设定电压值的差值为一电压差值,所述电压差值输入至所述调节控制器输出一执行电压值;

所述执行电压值连接所述步进电机,所述步进电机在一方向上转过一角度。

12.如权利要求11所述的机台冷却水调节装置,其特征在于,所述执行电压值连接一脉冲生成器,所述脉冲生成器生成一正负脉冲,所述正负脉冲驱动所述步进电机。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海华力集成电路制造有限公司,未经上海华力集成电路制造有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201921401650.1/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top