[实用新型]机台冷却水调节装置

说明书

本实用新型提供一种机台冷却水调节装置，包含：一管路，用以流动所述冷却水，所述冷却水具有一水流方向；一流量侦测器，用以侦测管路中冷却水的流量；一调节控制器，所述调节控制器与所述流量侦测器连接；一流量调节阀，所述流量调节阀安装在所述管路中，所述流量调节阀位于所述流量侦测器的水流方向的上游，所述流量调节阀与所述调节控制器连接。据此，能够实现对冷却水流量的实时侦测，并且根据侦测结果通过调节控制器内部电路连接后输出一执行信号，所述执行信号将驱动流量调节阀运动，从而调节管路中的冷却水流量。进而，减少了操作人员的介入，提高机台冷却水流量控制的机电化程度，使得管路中的水流量稳定在设定范围内。

技术领域

本实用新型涉及半导体制造设备领域，特别涉及一种机台冷却水调节装置。

背景技术

在半导体器件的制造过程的部分工艺中，机台的反应腔体内的设定温度从600℃至1050℃。冷却水通过管道流至机台反应腔附近，通过水循环能够带走部分多余热量，水的比热容较大能够稳定温度。机台的冷却水配合加热腔共同保持反应腔体内的温度稳定，因此，机台冷却水需要在极小的范围内波动，流体的主要参数包括压力和流量等。参阅图1所示，流量显示装置内显示了各个冷却水流量的设定范围，要求的流量在2.5±0.5 L/min、2.5±0.5 L/min、3.5±0.5 L/min、2.5±0.5 L/min、7.0±1.0 L/min范围内。

现有技术中，参阅图1所示，该流量显示装置会将监控水管内的流量显示出来。参阅图2所示，控制水管内流量有一排手动阀，分别对应各个管路标记，也具有调大调小标记。操作人员巡回检查该台机的冷却水的流量是否在设定的范围内，如果超出设定的范围则手动旋转对应的旋钮，调大或调小水管内的流量。

现有技术采用显示流量、告知流量范围、手动阀调节的方式来控制水管内冷却水的流量在预先设定的范围内。现有技术的机台冷却水调节装置存在以下缺陷：

1. 需要操作人员进行人为判断流量是否过大或过小或在合理范围内，以及据此作出是否需要手动旋钮，并且由于其观测到的流量具有一定的滞后性，人为因素加大加工设备的不稳定性，也给操作人员造成一定的困扰。

2. 机台的冷却水流量需要人为地机台端调节，往往不能及时察觉到机台冷却水流量的变化并进行调整。在某些极端条件下（操作人员疏忽监控冷却水流量），水流量可能降低超过机台警戒点，会导致反应腔体的温度超过设定的温度值，导致工艺程式异常终止，最终造成产品的报废。

实用新型内容

为了解决以上技术问题，本实用新型提供一种机台冷却水调节装置，其目的在于减少机台冷却水调节中操作人员的介入，减轻其监控的负担，并降低人为因素给机台冷却水流量监控带来的不良影响，使得机台冷却水流量稳定在设定范围内。

为了达到上述目的，本实用新型提供了一种机台冷却水调节装置，包括：

一管路，用以流动所述冷却水，所述冷却水具有一水流方向；

一流量侦测器，用以侦测管路中冷却水的流量；

一调节控制器，所述调节控制器与所述流量侦测器连接；

一流量调节阀，所述流量调节阀安装在所述管路中，所述流量调节阀位于所述流量侦测器的水流方向的上游，所述流量调节阀与所述调节控制器连接。

优选地，所述机台冷却水调节装置还包括：一压力调节阀，所述压力调节阀安装在所述管路中，所述压力调节阀位于所述流量调节阀的水流方向的上游。

优选地，所述流量侦测器包含一容积式流量计、或差压流量计、或浮子流量计、或涡轮流量计、或电磁流量计、或涡街流量计、或超声流量计、或质量流量计、或插入式流量计。

优选地，所述流量侦测器输出一测得电压值，所述测得电压值与所述流量相关。