[实用新型]一种长晶舟

权利要求书

1.一种长晶舟，包括挡板(1)、放置柱(2)，所述放置柱(2)上设置有晶片槽(21)，所述放置柱(2)两端连接挡板(1)，其特征在于：所述挡板(1)和放置柱(2)榫卯连接；所述挡板(1)上设置有卯眼(11)，所述放置柱(2)设置有榫头(22)，所述挡板(1)和放置柱(2)通过卯眼(11)和榫头(22)连接。

2.根据权利要求1所述的长晶舟，其特征在于：所述卯眼(11)设置有通孔(111)，所述榫头(22)设置有盲孔(221)，所述盲孔(221)内设螺纹；所述长晶舟还包括螺栓(31)，所述螺栓(31)采用与挡板(1)和放置柱(2)相同材质，所述螺栓(31)穿过通孔(111)与盲孔(221)相配合。

3.根据权利要求1所述的长晶舟，其特征在于：所述榫头(22)设置有凹槽(222)，所述卯眼(11)设置有凸台(112)，所述凸台(112)与凹槽(222)相配合，所述长晶舟还包括限位销(35)，所述限位销(35)采用与挡板(1)和放置柱(2)相同材质，所述限位销(35)置于卯眼(11)内。

4.根据权利要求1所述的长晶舟，其特征在于：所述卯眼(11)设置有通孔(111)，所述榫头(22)设置有销孔(223)；所述长晶舟还包括固定销(32)，所述固定销(32)采用与挡板(1)和放置柱(2)相同材质，所述固定销(32)置于通孔(111)与销孔(223)中。

5.根据权利要求1所述的长晶舟，其特征在于：所述挡板(1)与放置柱(2)通过燕尾榫卯连接。

6.根据权利要求1所述的长晶舟，其特征在于：所述挡板(1)至少为三个，包括设置在两端的边挡板(121)，设置在中间的间挡板(122)。

7.根据权利要求6所述的长晶舟，其特征在于：所述间挡板(122)两侧的榫头(22)设置在同一个卯眼(11)内。

8.根据权利要求7所述的长晶舟，其特征在于：所述间挡板(122)同一个卯眼(11)内的两个榫头(22)通过榫卯结构连接。

9.根据权利要求1-8任一项所述的长晶舟，其特征在于：所述挡板(1)、放置柱(2)均采用碳化硅材质。

10.根据权利要求1-8任一项所述的长晶舟，其特征在于：所述挡板(1)与放置柱(2)连接部位通过粘合剂固定。

11.根据权利要求9所述的长晶舟，其特征在于：所述挡板(1)与放置柱(2)连接部位通过粘合剂固定。