[实用新型]一种长晶舟

说明书

本实用新型提供了一种长晶舟，包括挡板、放置柱，所述放置柱上设置有晶片槽，所述放置柱两端连接挡板，所述挡板和放置柱榫卯连接；所述挡板上设置有卯眼，所述放置柱设置有榫头，所述挡板和放置柱通过卯眼和榫头连接。采用上述方案，采用挡板与放置柱分开制作，极大提高成品率，简化制作过程；挡板与放置柱采用榫卯连接，使连接稳固不易变形。

技术领域

本实用新型涉及电子半导体领域，尤其涉及一种长晶舟。

背景技术

在半导体晶片的制造过程中，会将晶片放置在一晶舟上，再将晶舟放置在炉管内进行批次制造。对于晶片而言，同一期间内在一台设备制造出的晶片的质量和数量，很大程度影响到半导体晶片的出产的良品率和制造成本。大容积的晶舟，极大提高了晶片的效率，但同时对晶舟的材质提出了更高的要求，普通材质的晶舟热膨胀系数大，会对晶片的形状造成影响，同时，温度的提升速度与温度保持，也是制备优良晶片的关键要素，而普通材质的晶舟容易导致晶舟温度上升不均衡或温度缓慢。碳化硅由于化学性能稳定、导热系数高、热膨胀系数小、耐磨性能好，莫氏硬度高，具有以下优点：(1)单位载荷引起结构的变形小；(2)热变形系数小，抗热震性能优越，可使镜体在较宽的温度范围内具有良好的热稳定性；(3)良好的热传导性能，当环境温度变化时，材料内部很容易达到温度平衡，不会引起很大的内应力；(4)对环境适应能力强，服役寿命长。但是碳化硅脆性大，对其切割钻孔易导致破损，也不能采用常规焊接进行加工，采用碳化硅整体制作长晶舟体积大工艺困难。

因此，本领域亟需一种长晶舟，以提高晶片的制备效率和良品率。

有鉴于此，提出本实用新型。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种长晶舟，以提高晶片的制备效率和良品率。

具体的，本实用新型提供了一种长晶舟，包括挡板、放置柱，所述放置柱上设置有晶片槽，所述放置柱两端连接挡板，所述挡板和放置柱榫卯连接；所述挡板上设置有卯眼，所述放置柱设置有榫头，所述挡板和放置柱通过卯眼和榫头连接。

采用上述方案，采用挡板与放置柱分开制作，极大提高成品率，简化制作过程；挡板与放置柱采用榫卯连接，使连接稳固不易变形。

优选的，所述挡板、放置柱均采用碳化硅材质。

采用上述方案，所述晶片槽用于存放晶片，利用碳化硅的优良特性，使所述长晶舟形变小、热变小、导热好，可以设置较大的承载量，提高承载的晶片在高温制备过程中的制备效率与良品率；但由于碳化硅脆性大，整体制作工艺繁琐、失败率大、成本高，采用挡板与放置柱分开制作，极大提高成品率，简化制作过程；挡板与放置柱采用榫卯连接，使连接稳固不易变形，加工过程简单，不易破坏连接部位的机械性能。

进一步，所述挡板包括板体和把手，所述把手与板体一体成型。

采用上述方案，所述把手用于人工或机械提握所述长晶舟进行转移，所述把手被施力较多，极易发生形变，所述把手与板体一体成型有利于结构稳固；采用一体成型与榫卯结构相结合的方式，兼顾了长晶舟结构稳定与便于制作，提高晶片的成品率。

进一步，所述挡板底端设置有底座，所述底座与板体一体成型。

采用上述方案，所述底座用于支撑长晶舟，便于长晶舟的放置，所述底座与板体一体成型有利于挡板结构稳固，又易加工。

进一步，所述挡板与放置柱连接部位通过粘合剂固定。所述粘合剂为耐高温的陶瓷粘合剂，优选采用耐1400摄氏度以上的金属氧化物粘合剂。

采用上述方案，所述粘合剂能加强挡板与放置柱的连接，防止脱落，避免挥发气体影响晶片良品率。

进一步，所述卯眼设置有通孔，所述榫头设置有盲孔，所述盲孔内设螺纹；所述长晶舟还包括螺栓，所述螺栓采用与挡板和放置柱相同材质，所述螺栓穿过通孔与盲孔相配合。