[实用新型]一种TFT用高纯铝蚀刻液生产装置有效

专利信息
申请号: 201921405335.6 申请日: 2019-08-27
公开(公告)号: CN211098792U 公开(公告)日: 2020-07-28
发明(设计)人: 戈士勇;何珂 申请(专利权)人: 江阴润玛电子材料股份有限公司
主分类号: B01F13/10 分类号: B01F13/10;B01F15/06;C23F1/20
代理公司: 江阴市轻舟专利代理事务所(普通合伙) 32380 代理人: 曹键
地址: 214423 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 tft 高纯 蚀刻 生产 装置
【权利要求书】:

1.一种TFT用高纯铝蚀刻液生产装置,包括底架板(7)和储料桶(8),其特征在于:所述底架板(7)的顶部中间左侧位置处设置有储料桶(8),所述储料桶(8)的顶部位置处设置有传输管(3),所述传输管(3)的顶部位置处与储料桶(8)相对应的位置处设置有抽取泵(2),所述传输管(3)的前端中间位置处设置有固定架(1),所述传输管(3)的另一端位置处设置在混合桶(5)的顶部左侧位置处,所述混合桶(5)的顶部位置处设置有工作电机(4),所述底架板(7)的底部位置处设置有脚架(6)。

2.根据权利要求1所述的一种TFT用高纯铝蚀刻液生产装置,其特征在于:所述混合桶(5)包括传动轴(51)、导热搅拌棍(52)、出料口(53)、稳定轴(54)和桶壁(55),所述桶壁(55)的顶部中间位置处设置有传动轴(51),所述传动轴(51)的下方位置处设置有稳定轴(54),所述稳定轴(54)的右侧位置处设置有导热搅拌棍(52),所述桶壁(55)的右侧中间偏下位置处设置有出料口(53)。

3.根据权利要求1所述的一种TFT用高纯铝蚀刻液生产装置,其特征在于:所述储料桶(8)包括加料口(81)、抽料口(82)、固定块(83)、桶体(84)、滤网(85)和抽料管(86),所述桶体(84)的顶部中间位置处设置有固定块(83),所述固定块(83)的中间位置处设置有抽料口(82),所述桶体(84)的顶部中间偏左位置处设置有加料口(81),所述固定块(83)的内侧底部中间位置处设置有滤网(85)。

4.根据权利要求1所述的一种TFT用高纯铝蚀刻液生产装置,其特征在于:所述储料桶(8)共设置有四个,且四个储料桶(8)的大小和形状均相同,四个所述储料桶(8)均匀的设置在底架板(7)的顶部中间位置处。

5.根据权利要求1所述的一种TFT用高纯铝蚀刻液生产装置,其特征在于:所述抽取泵(2)共设置有四个,且四个抽取泵(2)的大小和形状均相同,四个所述抽取泵(2)分别设置在传输管(3)的顶部与四个储料桶(8) 相对应的位置处。

6.根据权利要求2所述的一种TFT用高纯铝蚀刻液生产装置,其特征在于:所述导热搅拌棍(52)共设置有八个,且八个导热搅拌棍(52)的大小和形状均相同,八个所述导热搅拌棍(52)分别设置在稳定轴(54)的两侧位置处。

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