[实用新型]一种TFT用高纯铝蚀刻液生产装置有效
申请号: | 201921405335.6 | 申请日: | 2019-08-27 |
公开(公告)号: | CN211098792U | 公开(公告)日: | 2020-07-28 |
发明(设计)人: | 戈士勇;何珂 | 申请(专利权)人: | 江阴润玛电子材料股份有限公司 |
主分类号: | B01F13/10 | 分类号: | B01F13/10;B01F15/06;C23F1/20 |
代理公司: | 江阴市轻舟专利代理事务所(普通合伙) 32380 | 代理人: | 曹键 |
地址: | 214423 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 tft 高纯 蚀刻 生产 装置 | ||
1.一种TFT用高纯铝蚀刻液生产装置,包括底架板(7)和储料桶(8),其特征在于:所述底架板(7)的顶部中间左侧位置处设置有储料桶(8),所述储料桶(8)的顶部位置处设置有传输管(3),所述传输管(3)的顶部位置处与储料桶(8)相对应的位置处设置有抽取泵(2),所述传输管(3)的前端中间位置处设置有固定架(1),所述传输管(3)的另一端位置处设置在混合桶(5)的顶部左侧位置处,所述混合桶(5)的顶部位置处设置有工作电机(4),所述底架板(7)的底部位置处设置有脚架(6)。
2.根据权利要求1所述的一种TFT用高纯铝蚀刻液生产装置,其特征在于:所述混合桶(5)包括传动轴(51)、导热搅拌棍(52)、出料口(53)、稳定轴(54)和桶壁(55),所述桶壁(55)的顶部中间位置处设置有传动轴(51),所述传动轴(51)的下方位置处设置有稳定轴(54),所述稳定轴(54)的右侧位置处设置有导热搅拌棍(52),所述桶壁(55)的右侧中间偏下位置处设置有出料口(53)。
3.根据权利要求1所述的一种TFT用高纯铝蚀刻液生产装置,其特征在于:所述储料桶(8)包括加料口(81)、抽料口(82)、固定块(83)、桶体(84)、滤网(85)和抽料管(86),所述桶体(84)的顶部中间位置处设置有固定块(83),所述固定块(83)的中间位置处设置有抽料口(82),所述桶体(84)的顶部中间偏左位置处设置有加料口(81),所述固定块(83)的内侧底部中间位置处设置有滤网(85)。
4.根据权利要求1所述的一种TFT用高纯铝蚀刻液生产装置,其特征在于:所述储料桶(8)共设置有四个,且四个储料桶(8)的大小和形状均相同,四个所述储料桶(8)均匀的设置在底架板(7)的顶部中间位置处。
5.根据权利要求1所述的一种TFT用高纯铝蚀刻液生产装置,其特征在于:所述抽取泵(2)共设置有四个,且四个抽取泵(2)的大小和形状均相同,四个所述抽取泵(2)分别设置在传输管(3)的顶部与四个储料桶(8) 相对应的位置处。
6.根据权利要求2所述的一种TFT用高纯铝蚀刻液生产装置,其特征在于:所述导热搅拌棍(52)共设置有八个,且八个导热搅拌棍(52)的大小和形状均相同,八个所述导热搅拌棍(52)分别设置在稳定轴(54)的两侧位置处。
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