[实用新型]一种基于制程腔体的吸盘结构及制程腔

权利要求书

1.一种基于制程腔体的吸盘结构，其特征在于，包括转动机构、吸盘载台、控制器、机台；所述吸盘载台上沿中心阵列设置有多个吸盘，所述吸盘载台位于机台上方，所述转动机构位于吸盘载台下方与机台之间，所述转动机构与吸盘载台中心连接，所述转动机构用于带动吸盘载台转动，所述控制器与转动机构相连。

2.根据权利要求1所述的基于制程腔体的吸盘结构，其特征在于，所述转动机构还包括圆环形的导轨、多个滑块、第一连接件和转动电机，所述导轨位于机台内，并与机台相连，所述滑块位于导轨上，并沿导轨移动，所述第一连接件位于滑块上，并与吸盘载台连接，所述转动电机的转动端与滑块连接，用于带动滑块沿导轨移动。

3.根据权利要求2所述的基于制程腔体的吸盘结构，其特征在于，所述转动机构还包括转盘，转盘固定在转动电机的转动端，所述转动端通过转盘与滑块连接。

4.根据权利要求2或3所述的基于制程腔体的吸盘结构，其特征在于，所述基于制程腔体的吸盘结构还包括第二连接件，所述第二连接件连接导轨与机台。

5.一种制程腔，其特征在于，包括：腔体盖、腔体外门、权利要求1-4任意一项所述的基于制程腔体的吸盘结构；基于制程腔体的吸盘结构包括机台和吸盘载台，腔体盖置于机台上方盖住吸盘载台，所述腔体外门位于腔体盖上。