[实用新型]一种真空镀膜机的柱靶安装结构

权利要求书

1.一种真空镀膜机的柱靶安装结构，其特征在于：包括炉体，所述炉体包括上顶板、炉底板，所述上顶板上安装有驱动装置，所述驱动装置包括电机、轴套，所述电机带动轴套转动，所述炉体内设有柱靶，所述柱靶中包括磁芯，所述柱靶的上端通过锁扣固定在轴套上，所述柱靶与轴套之间包括安装面，所述安装面位于炉体内；所述炉底板上设有安装板，所述安装板与炉底板之间通过支撑柱固定连接，所述安装板上设有底部轴，所述底部轴与安装板铰接，所述柱靶的下端与底部轴固定连接。

2.根据权利要求1所述的真空镀膜机的柱靶安装结构，其特征在于：还包括盖体，所述安装板上设有底座，所述底座中设有轴承，所述底部轴的下端与轴承连接，所述柱靶与底部轴之间通过盖体固定连接。

3.根据权利要求2所述的真空镀膜机的柱靶安装结构，其特征在于：所述盖体外设有屏蔽套，所述底座中设有绝缘套。

4.根据权利要求1所述的真空镀膜机的柱靶安装结构，其特征在于：所述安装板上设有通孔，所述支撑柱包括空腔，所述炉底板上设有螺孔，一螺栓穿过安装板的通孔以及支撑柱的空腔后与螺孔螺纹连接。

5.根据权利要求1所述的真空镀膜机的柱靶安装结构，其特征在于：还包括进水管，所述进水管贯穿所述的驱动装置后与柱靶的内部连通。