[实用新型]一种真空镀膜机的柱靶安装结构

说明书

本实用新型公开了一种真空镀膜机的柱靶安装结构，包括炉体，所述炉体包括上顶板、炉底板，所述上顶板上安装有驱动装置，所述驱动装置包括电机、轴套，所述炉体内设有柱靶，所述柱靶与轴套之间包括安装面，所述安装面位于炉体内；所述炉底板上设有安装板，所述安装板与炉底板之间通过支撑柱固定连接，所述安装板上设有底部轴，所述底部轴与安装板铰接，所述柱靶的下端与底部轴固定连接。本实用新型通过在炉底板上增加一个安装板，使得柱靶的下端可以与安装板铰接。工作的时候，由于柱靶的上下两端都得到了支撑，柱靶的旋转的时候更加稳定。同时，安装板与炉底板之间设有支撑柱，使得柱靶可从炉体内从下拆卸出来。

技术领域

本实用新型涉及一种真空镀膜技术，特别是立式的真空镀膜机。

背景技术

真空镀膜是一种由物理或者化学方法产生薄膜材料的技术，在真空室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上。此项技术可以用于生产光学镜片，如航海望远镜镜片等；以及其他功能薄膜，唱片镀铝、装饰镀膜和材料表面改性等，如手表外壳镀仿金色，机械刀具镀膜，改变加工硬性。真空镀膜有三种形式，即蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀和纯离子镀膜。

现有的真空镀膜设备根据真空室的结构一般分为卧式真空镀膜机与立式真空镀膜机。现有的立式真空镀膜机的柱靶一般长度为1.2米左右，其中柱靶的上端安装在设备的顶部，然后柱靶的下端悬吊在立式真空镀膜机中。由于在工作中，柱靶需要旋转运动，而柱靶只有上端被安装固定，因此在转动过程容易发生偏转与摆动，特别当柱靶的长度更大的时候，摆动更加明显。摆动不仅影响镀膜的质量，而且还影响到设备的正常运行。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是：提供一种安装更加稳定的柱靶结构。

本实用新型解决其技术问题的解决方案是：一种真空镀膜机的柱靶安装结构，包括炉体，所述炉体包括上顶板、炉底板，所述上顶板上安装有驱动装置，所述驱动装置包括电机、轴套，所述电机带动轴套转动，所述炉体内设有柱靶，所述柱靶中包括磁芯，所述柱靶的上端通过锁扣固定在轴套上，所述柱靶与轴套之间包括安装面，所述安装面位于炉体内；所述炉底板上设有安装板，所述安装板与炉底板之间通过支撑柱固定连接，所述安装板上设有底部轴，所述底部轴与安装板铰接，所述柱靶的下端与底部轴固定连接。

本实用新型的有益效果是：本实用新型通过在炉底板上增加一个安装板，使得柱靶的下端可以与安装板铰接。工作的时候，由于柱靶的上下两端都得到了支撑，柱靶的旋转的时候更加稳定。同时，安装板与炉底板之间设有支撑柱，当需要将柱靶拆卸下来的时候，将支撑柱拆下来，此时柱靶的底部与炉底板之间有一定的高度差，同时由于轴套与柱靶之间的安装位置在炉体内，只需将锁扣松开，柱靶即可从炉体内从下拆卸出来。

作为上述技术方案的进一步改进，还包括盖体，所述安装板上设有底座，所述底座中设有轴承，所述底部轴的下端与轴承连接，所述柱靶与底部轴之间通过盖体固定连接。采用上述的结构，可以使得柱靶的下部安装更加简便、可靠。

作为上述技术方案的进一步改进，所述盖体外设有屏蔽套，所述底座中设有绝缘套。通过屏蔽套以及绝缘套，可以起到更好的真空镀膜效果。

作为上述技术方案的进一步改进，所述安装板上设有通孔，所述支撑柱包括空腔，所述炉底板上设有螺孔，一螺栓穿过安装板的通孔以及支撑柱的空腔后与螺孔螺纹连接。

作为上述技术方案的进一步改进，还包括进水管，所述进水管贯穿所述的驱动装置后与柱靶的内部连通。通过往柱靶中注水，可以起到冷却磁芯的效果。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单说明。显然，所描述的附图只是本实用新型的一部分实施例，而不是全部实施例，本领域的技术人员在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他设计方案和附图。

图1是本实用新型的立体示意图；