[实用新型]一种真空镀膜机的导电系统以及真空镀膜机有效
申请号: | 201921414872.7 | 申请日: | 2019-08-28 |
公开(公告)号: | CN211546653U | 公开(公告)日: | 2020-09-22 |
发明(设计)人: | 武文全 | 申请(专利权)人: | 佛山市佛欣真空技术有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50;C23C14/22 |
代理公司: | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人: | 谢泳祥 |
地址: | 528226 广东省佛山市南*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 真空镀膜 导电 系统 以及 | ||
1.一种真空镀膜机的导电系统,包括转架,所述转架包括转盘,所述转盘的边沿设有外齿圈,其特征在于:包括侧导电装置,所述侧导电装置包括固定座、摆臂与导电齿轮,所述摆臂的一端通过弹性构件安装在固定座上,所述导电齿轮铰接在摆臂的另外一端,所述导电齿轮与外齿圈啮合,且导电齿轮与外齿圈的重合度大于1。
2.根据权利要求1所述的真空镀膜机的导电系统,其特征在于:所述侧导电装置包括导电柱,所述导电柱与固定座铰接,所述弹性构件为扭簧,所述扭簧安装在导电柱与固定座之间,所述摆臂的后端固定在导电柱上,所述导电齿轮铰接在摆臂的前端,所述导电柱与导电齿轮电连接,所述扭簧迫使导电齿轮始终与外齿圈啮合。
3.根据权利要求2所述的真空镀膜机的导电系统,其特征在于:所述摆臂为导电材料制造而成,所述导电齿轮与导电柱通过摆臂导电连接。
4.根据权利要求3所述的真空镀膜机的导电系统,其特征在于:所述侧导电装置还包括转轴,所述转轴外套有轴承,所述导电齿轮套在轴承外,所述转轴通过螺钉固定在摆臂上,所述转轴与轴承均为导电材料。
5.根据权利要求4所述的真空镀膜机的导电系统,其特征在于:所述摆臂与转轴之间还设有导电石墨。
6.根据权利要求2所述的真空镀膜机的导电系统,其特征在于:所述固定座包括安装底板、壳体,所述壳体固定在底板上,所述底板上设有安装孔,所述导电柱安装在安装孔中,所述导电柱的上端穿出壳体,所述扭簧安装在壳体中。
7.根据权利要求1所述的真空镀膜机的导电系统,其特征在于:所述转盘的中心上设有中心导电柱,还包括中心导电装置,所述中心导电装置包括底座、碳刷,所述碳刷与底座之间通过第二弹性构件连接,所述中心导电柱与碳刷导电连接。
8.根据权利要求7所述的真空镀膜机的导电系统,其特征在于:所述中心导电装置还包括压盖,所述压盖与底座固定连接。
9.根据权利要求7所述的真空镀膜机的导电系统,其特征在于:所述碳刷包括内弧面,所述内弧面与中心导电柱的外弧面相匹配,所述第二弹性构件为螺旋弹簧,所述第二弹性构件有多根。
10.一种真空镀膜机,其特征在于:包括上述权利要求1-9任意一项所述的导电系统。
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