[实用新型]一种真空镀膜机的导电系统以及真空镀膜机有效
申请号: | 201921414872.7 | 申请日: | 2019-08-28 |
公开(公告)号: | CN211546653U | 公开(公告)日: | 2020-09-22 |
发明(设计)人: | 武文全 | 申请(专利权)人: | 佛山市佛欣真空技术有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50;C23C14/22 |
代理公司: | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人: | 谢泳祥 |
地址: | 528226 广东省佛山市南*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 真空镀膜 导电 系统 以及 | ||
本实用新型公开了一种真空镀膜机的导电系统,包括转架,所述转架包括转盘,所述转盘的边沿设有外齿圈,包括侧导电装置,所述侧导电装置包括固定座、摆臂与导电齿轮,所述摆臂的一端通过弹性构件安装在固定上,所述导电齿轮与外齿圈的重合度大于1。本实用新型通过利用齿轮的啮合进行导电,由于导电齿轮与外齿圈的重合度大于1,所述可以保证导电齿轮与外齿圈能够连续传动,即导电齿轮与外齿圈保持接触,使得转架在转动的时候始终保持通电,从而提高转架上的产品的镀膜质量。同时本实用新型又提供了一种应用了上述导电系统的种真空镀膜机。利用了上述导电系统的真空镀膜机,具有更好的导电稳定性,从而提高产品的加工质量。
技术领域
本实用新型涉及真空镀膜技术,特别是立式的真空镀膜机。
背景技术
真空镀膜是一种由物理或者化学方法产生薄膜材料的技术,在真空室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上。此项技术可以用于生产光学镜片,如航海望远镜镜片等;以及其他功能薄膜,唱片镀铝、装饰镀膜和材料表面改性等,如手表外壳镀仿金色,机械刀具镀膜,改变加工硬性。真空镀膜有三种形式,即蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀和纯离子镀膜。
现有的真空镀膜设备一般都包括有真空镀膜室,真空镀膜室中设有绝缘的平台,然后平台上设有导电的转架,工作的时候,产品挂在转架上,并通过转架导电。而现有技术中,转架的驱动一般由主动齿轮带动转动,而在转架的边上设置有导电线。而由于支架是绝缘的,这导致了在工作过程中,转架的电压、电流不稳,从而影响了产品的镀膜的质量。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是:提供一种提高真空镀膜机的转架的导电性能的装置。
本实用新型解决其技术问题的解决方案是:一种真空镀膜机的导电系统,包括转架,所述转架包括转盘,所述转盘的边沿设有外齿圈,包括侧导电装置,所述侧导电装置包括固定座、摆臂与导电齿轮,所述摆臂的一端通过弹性构件安装在固定上,所述导电齿轮铰接在摆臂的另外一端,所述导电齿轮与外齿圈啮合,且导电齿轮与外齿圈的重合度大于1。
本实用新型的有益效果是:本实用新型通过利用齿轮的啮合进行导电,由于导电齿轮与外齿圈的重合度大于1,所述可以保证导电齿轮与外齿圈能够连续传动,即导电齿轮与外齿圈保持接触,使得转架在转动的时候始终保持通电,从而提高转架上的产品的镀膜质量。
作为上述技术方案的进一步改进,所述侧导电装置包括导电柱,所述导电柱与固定座铰接,所述弹性构件为扭簧,所述扭簧安装在导电柱与固定座之间,所述摆臂的后端固定在导电柱上,所述导电齿轮铰接在摆臂的前端,所述导电柱与导电齿轮电连接,所述扭簧迫使导电齿轮始终与外齿圈啮合。利用扭簧提供扭力,该扭力使得导电齿轮与外齿圈保持接触,避免两者的意外分离,从而影响导电。
作为上述技术方案的进一步改进,所述摆臂为导电材料制造而成,所述导电齿轮与导电柱通过摆臂导电连接。
作为上述技术方案的进一步改进,所述侧导电装置还包括转轴,所述转轴外套有轴承,所述导电齿轮套在轴承外,所述转轴通过螺钉固定在摆臂上,所述转轴与轴承均为导电材料。电从导电柱进入到侧导电系统,通过上述的结构,可以使得电尽量能够从导电柱传递到导电齿轮上去。
作为上述技术方案的进一步改进,所述摆臂与转轴之间还设有导电石墨。
作为上述技术方案的进一步改进,所述固定座包括安装底板、壳体,所述壳体固定在底板上,所述底板上设有安装孔,所述导电柱安装在安装孔中,所述导电柱的上端穿出壳体,所述扭簧安装在壳体中。通过壳体,可以有效地保护扭簧,而且当扭簧出现损坏之后,可以快速方便更换。
作为上述技术方案的进一步改进,所述转盘的中心上设有中心导电柱,还包括中心导电装置,所述中心导电装置包括底座、碳刷,所述弹簧与底座之间通过第二弹性构件连接,所述中心导电柱与碳刷导电连接。通过增加中心导电装置,可以进一步提高转盘的导电稳定性。
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