[实用新型]一种镀膜装置有效
| 申请号： | 201921416866.5 | 申请日： | 2019-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN211142145U | 公开（公告）日： | 2020-07-31 |
| 发明（设计）人： | 王海燕 | 申请（专利权）人： | 福建华佳彩有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30 |
| 代理公司： | 福州市博深专利事务所(普通合伙) 35214 | 代理人： | 张明 |
| 地址： | 351100 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 镀膜 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种镀膜装置，其特征在于，包括线性蒸发容器、第一坩埚和第二坩埚，所述第一坩埚和第二坩埚均与所述线性蒸发容器相连通；
所述第一坩埚和第二坩埚均设有开口，所述第一坩埚的开口的上方设有正电荷发射装置，所述第二坩埚的开口的上方设有负电荷发射装置。
2.根据权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述正电荷发射装置和负电荷发射装置均为线性的电子枪，所述电子枪的发射口分别位于所述第一坩埚的开口的正上方和第二坩埚的开口的正上方。
3.根据权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述线性蒸发容器和第一坩埚之间通过第一气体通道相连通，所述线性蒸发容器和第二坩埚之间通过第二气体通道相连通，带正电荷的气体通过所述第一气体通道传输至所述线性蒸发容器内腔，带负电荷的气体通过所述第二气体通道传输至所述线性蒸发容器内腔。
4.根据权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述线性蒸发容器内腔设有止沸片，所述止沸片设置在靠近线性蒸发容器的开口的位置，所述止沸片上设有两个以上的通孔。
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