[实用新型]一种镀膜装置

说明书

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，特别涉及一种镀膜装置，通过在第一坩埚的开口的上方设置正电荷发射装置将第一坩埚内腔的蒸镀物转换成带正电荷的气体进入线性蒸发容器内，通过在第二坩埚的开口的上方设置负电荷发射装置将第二坩埚内腔的蒸镀物转换成带负电荷的气体进入线性蒸发容器内，通过正负电荷之间同性相吸与异性相斥的作用，不同材料进行均匀混合后，混合后的材料于镀膜装置的基板上形成目标膜层，混合材料均匀性的提高，不仅有利于蒸镀后膜层的均匀性，而且提高了发光层的发光效率。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，特别涉及一种镀膜装置。

背景技术

有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode，简称为OLED)具有自发光的特性，而且还具有超轻薄、宽视角、低功耗等优点，使OLED显示面板已成为当前研究的热点与重点。OLED显示屏中有机发光层的制备，通常采用真空蒸镀技术，即在真空腔体内，通过加热蒸发源中的材料，使其蒸发并沉积在目标基板上。

对于有机电致发光器件中的发光层，一般由有机发光主体材料和有机发光客体材料两种发光材料混合蒸镀组成红色/绿色/蓝色(R/G/B)像素区域。例如红色的发光材料层或绿色发光材料层通常两种有机发光主体材料并掺杂有机发光客体材料，蓝色的发光材料层通常采用一种或两种有机发光主体材料并掺杂有机发光客体材料。有机电致发光器件的发光层，通常采用线性蒸发源进行蒸镀成膜，而现有技术中，线状蒸镀源要蒸镀共混掺杂多种材料的膜层，需要采用多个蒸发源并在其两侧设置角度板，通过调整角度板到每个线状蒸发源的距离以及角度板的高度调节对应每个线状蒸发源的蒸发角以及蒸发面积。此外，多个线状蒸发源之间存在一定的间隔，在共蒸镀有机材料时，势必导致目标膜层出现不同材料共掺杂的部分，还存在只包含某一种材料的单层膜层，单种材料膜层与不同材料共掺杂膜层的混合，降低了发光层成膜的均匀性。

实用新型内容

为了克服上述现有技术的缺陷，本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种能够提高有机膜层的均匀性的镀膜装置。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案为：

一种镀膜装置，包括线性蒸发容器、第一坩埚和第二坩埚，所述第一坩埚和第二坩埚均与所述线性蒸发容器相连通；

所述第一坩埚和第二坩埚均设有开口，所述第一坩埚的开口的上方设有正电荷发射装置，所述第二坩埚的开口的上方设有负电荷发射装置。

进一步的，所述正电荷发射装置和负电荷发射装置均为线性的电子枪，所述电子枪的发射口分别位于所述第一坩埚的开口的正上方和第二坩埚的开口的正上方。

进一步的，所述线性蒸发容器和第一坩埚之间通过第一气体通道相连通，所述线性蒸发容器和第二坩埚之间通过第二气体通道相连通，所述带正电荷的气体通过所述第一气体通道传输至所述线性蒸发容器内腔，所述带负电荷的气体通过所述第二气体通道传输至所述线性蒸发容器内腔。

进一步的，所述线性蒸发容器内腔设有止沸片，所述止沸片设置在靠近线性蒸发容器的开口的位置，所述止沸片上设有两个以上的通孔。

本实用新型的有益效果在于：

通过在第一坩埚的开口的上方设置正电荷发射装置将第一坩埚内腔的蒸镀物转换成带正电荷的气体进入线性蒸发容器内，通过在第二坩埚的开口的上方设置负电荷发射装置将第二坩埚内腔的蒸镀物转换成带负电荷的气体进入线性蒸发容器内，通过正负电荷之间同性相吸与异性相斥的作用，不同材料进行均匀混合后，混合后的材料于镀膜装置的基板上形成目标膜层，混合材料均匀性的提高，不仅有利于蒸镀后膜层的均匀性，而且提高了发光层的发光效率。此外，未使用传统线性蒸镀源中角度板，减小了由于角度板的设置而导致的蒸镀膜层均匀性差，以及蒸发角增大导致的阴影效应严重的问题，从而降低了蒸镀有机图案出现异常风险，提高了有机电致发光器件的显示质量，从而保证了产品的品质。

附图说明