[实用新型]一种掩膜版及掩膜版组件有效
申请号: | 201921417564.X | 申请日: | 2019-08-28 |
公开(公告)号: | CN210529038U | 公开(公告)日: | 2020-05-15 |
发明(设计)人: | 安乐平 | 申请(专利权)人: | 昆山维信诺科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/04;C23C14/12 |
代理公司: | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人: | 康艳艳 |
地址: | 215300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 掩膜版 组件 | ||
1.一种掩膜版,其特征在于,包括本体,所述本体上设有多列长条孔单元,且至少一列所述长条孔单元包括至少两个长条孔。
2.根据权利要求1所述的一种掩膜版,其特征在于,每一列所述长条孔单元包括至少两个长条孔。
3.根据权利要求2所述的一种掩膜版,其特征在于,每一列所述长条孔单元包括两个长条孔,为第一长条孔(1)、第二长条孔(2)。
4.根据权利要求3所述的一种掩膜版,其特征在于,所述第一长条孔(1)的长度与所述第二长条孔(2)的长度不等,且在所述掩膜版的行向方向上,所述第一长条孔(1)、所述第二长条孔(2)依次交替设置。
5.根据权利要求4所述的一种掩膜版,其特征在于,所述第一长条孔(1)的长度对应三个或四个像素点的长度,所述第二长条孔(2)的长度对应四个或三个像素点的长度。
6.根据权利要求1所述的一种掩膜版,其特征在于,位于同一列的所述长条孔之间具有间隙,相邻两列的所述间隙位于所述掩膜版的不同行上。
7.根据权利要求6所述的一种掩膜版,其特征在于,所述间隙小于等于40微米。
8.根据权利要求3所述的一种掩膜版,其特征在于,所述第一长条孔(1)、所述第二长条孔(2)的宽度,比相应的像素点的宽度大14至18微米。
9.根据权利要求1所述的一种掩膜版,其特征在于,所述本体包括多个与屏体尺寸相应的区域,每一所述区域内设有多列所述长条孔单元。
10.一种掩膜版组件,其特征在于,包括多个权利要求1-9中任一项所述的一种掩膜版,至少包括第一掩膜版、第二掩膜版、第三掩膜版,其中所述第一掩膜版的所述长条孔单元对应红光像素点设置,所述第二掩膜版的所述长条孔单元对应绿光像素点设置,所述第三掩膜版的所述长条孔单元对应蓝光像素点单元设置。
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