[实用新型]一种掩膜版及掩膜版组件有效
申请号: | 201921417564.X | 申请日: | 2019-08-28 |
公开(公告)号: | CN210529038U | 公开(公告)日: | 2020-05-15 |
发明(设计)人: | 安乐平 | 申请(专利权)人: | 昆山维信诺科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/04;C23C14/12 |
代理公司: | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人: | 康艳艳 |
地址: | 215300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 掩膜版 组件 | ||
本实用新型提供的一种掩膜版及掩膜版组件,其中掩膜版包括本体,所述本体上设有多列长条孔单元,且至少一列所述长条孔单元包括至少两个长条孔。通过在本体上设有多列长条孔单元,且至少一列长条孔单元包括至少两个长条孔,减少了该列长条孔单元中每一个长条孔的长度,掩膜版不易发生变形,降低了制作掩膜版的难度,并降低在运输和生产过程中由于掩膜版变形而引起的串色和色偏的现象。
技术领域
本实用新型涉及OLED器件的制造工艺技术领域,具体涉及一种掩膜版及掩膜版组件。
背景技术
OLED产品在电子显示产品上已基本取代了传统TFT产品,对于是小尺寸的穿戴类OLED产品来说,“视网膜显示屏”、“超高分辨率显示屏”的设计,对工艺能力及模具的要求更高。
由于传统被动式有机发光显示器彩色蒸镀RGB三色使用的掩膜版上开孔是长条形设计,对于一些高分辨率的产品,通常是对掩膜版开长条孔,使一个长条孔的长度对应位于同一列的子像素的长度,由于开孔的长度较大,掩膜版在运输或使用的过程中很容易变形,变形严重会导致开孔之间缠在一起不能使用,如果是轻微变形在制作过程中部分产品会造成串色或是色偏,导致产品良率降低。
实用新型内容
因此,本实用新型要解决的技术问题在于克服现有技术中的掩膜版容易变形从而导致产品串色或色偏的缺陷,从而提供一种不易发生变形的掩膜版及掩膜版组件。
为解决上述技术问题,本实用新型提供的一种掩膜版,包括本体,所述本体上设有多列长条孔单元,且至少一列所述长条孔单元包括至少两个长条孔。
每一列所述长条孔单元包括至少两个长条孔。
每一列所述长条孔单元包括两个长条孔,为第一长条孔、第二长条孔。
所述第一长条孔的长度与所述第二长条孔的长度不等,且在所述掩膜版的行向方向上,所述第一长条孔、所述第二长条孔依次交替设置。
所述第一长条孔的长度对应三个或四个像素点的长度,所述第二长条孔的长度对应四个或三个像素点的长度。
位于同一列的所述长条孔之间具有间隙,相邻两列的所述间隙位于所述掩膜版的不同行上。
所述间隙小于等于40微米。
所述第一长条孔、所述第二长条孔的宽度,比相应的像素点的宽度大14至18微米。
所述本体包括多个与屏体尺寸相应的区域,每一所述区域内设有多列所述长条孔单元。
本实用新型还提供一种掩膜版组件,包括多个所述的一种掩膜版,至少包括第一掩膜版、第二掩膜版、第三掩膜版,其中所述第一掩膜版的所述长条孔单元对应红光像素点设置,所述第二掩膜版的所述长条孔单元对应绿光像素点设置,所述第三掩膜版的所述长条孔单元对应蓝光像素点单元设置。
本实用新型技术方案,具有如下优点:
1.本实用新型提供的一种掩膜版,通过在本体上设有多列长条孔单元,且至少一列长条孔单元包括至少两个长条孔,减少了该列长条孔单元中每一个长条孔的长度,掩膜版不易发生变形,降低了制作掩膜版的难度,并降低在运输和生产过程中由于掩膜版变形而引起的串色和色偏的现象。
2.本实用新型提供的一种掩膜版,每一列所述长条孔单元包括至少两个长条孔,减少了每列长条孔单元中每一个长条孔的长度,掩膜版不易发生变形,降低了制作掩膜版的难度,并降低在运输和生产过程中由于掩膜版变形而引起的串色和色偏的现象。
3.本实用新型提供的一种掩膜版,每一列所述长条孔单元包括两个长条孔,为第一长条孔、第二长条孔,这种设置方式既能保证掩膜版不易发生变形,能降低掩膜版在运输和生产过程中由于变形而引起的串色和色偏的现象,又能保证使用该掩膜版加工出的屏体的分辨率。
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