[实用新型]光刻胶供应装置

权利要求书

1.一种光刻胶供应装置，其特征在于，包括用于存储光刻胶的供应容器(1)，所述供应容器(1)连接有用于将光刻胶导入涂胶槽的供胶管路(3)，所述供应容器(1)还连接有用于通入供压气体的进气管路(2)，以使所述供压气体能够将所述光刻胶压出所述供应容器(1)。

2.根据权利要求1所述的光刻胶供应装置，其特征在于，所述供应容器(1)包括用于容纳所述光刻胶的储液瓶(11)和设置在所述储液瓶(11)外侧的密闭的压力瓶(12)，所述储液瓶(11)敞口设置，所述进气管路(2)连接在所述压力瓶(12)上，所述供胶管路(3)伸入到所述储液瓶(11)内部。

3.根据权利要求2所述的光刻胶供应装置，其特征在于，所述供胶管路(3)伸入到所述储液瓶(11)的底部。

4.根据权利要求1所述的光刻胶供应装置，其特征在于，所述供应容器(1)还连接有排气管路(4)，所述排气管路(4)设置有泄压阀(5)。

5.根据权利要求1所述的光刻胶供应装置，其特征在于，所述进气管路(2)设置有用于调节进气压力大小的气压调节阀(6)。

6.根据权利要求1所述的光刻胶供应装置，其特征在于，所述光刻胶的材料为PI。

7.根据权利要求1-6中任一项所述的光刻胶供应装置，其特征在于，还包括缓冲罐(7)，所述供胶管路(3)包括连接在所述供应容器(1)和所述缓冲罐(7)上端的第一管段(31)和连接在所述缓冲罐(7)下端的第二管段(32)，所述缓冲罐(7)的上端还连接有排出管路(8)。

8.根据权利要求7所述的光刻胶供应装置，其特征在于，所述第一管段(31)设置有用于侦测所述供应容器(1)内的光刻胶余量的液位侦测器(9)。

9.根据权利要求8所述的光刻胶供应装置，其特征在于，还包括与所述液位侦测器(9)连接的报警装置，用于在所述供应容器(1)内的光刻胶的余量小于阈值时报警。

10.根据权利要求7所述的光刻胶供应装置，其特征在于，还包括用于调节光刻胶喷量的气动阀(10)，所述供胶管路(3)还包括第三管段(33)，所述气动阀(10)一端与所述第二管段(32)连接，另一端通过所述第三管段(33)连接至所述涂胶槽。

11.根据权利要求10所述的光刻胶供应装置，其特征在于，所述第一管段(31)、第二管段(32)以及第三管段(33)的管径尺寸与所述气动阀(10)的内径尺寸相同。

12.根据权利要求11所述的光刻胶供应装置，其特征在于，所述第一管段(31)、第二管段(32)、第三管段(33)的管径尺寸以及气动阀(10)的内径尺寸为1/4～1/2英寸。