[实用新型]玻璃基板清洗装置

权利要求书

1.一种玻璃基板清洗装置，其对玻璃基板的玻璃面进行清洗，

所述玻璃基板清洗装置包括：

多个清洗构件；

多个旋转轴，它们分别支承所述多个清洗构件；

多个齿轮，它们分别设置在所述多个旋转轴上；以及

旋转驱动机构，其驱动所述多个旋转轴中的至少一个，

所述多个齿轮中的相邻的齿轮彼此相互啮合，

其特征在于，

还包括液体赋予机构，该液体赋予机构向所述相邻的齿轮彼此啮合的啮合部赋予液体。

2.根据权利要求1所述的玻璃基板清洗装置，其特征在于，

所述相邻的齿轮中的一个齿轮为金属制且另一个齿轮为树脂制。

3.根据权利要求2所述的玻璃基板清洗装置，其特征在于，

所述玻璃基板以水平姿态的状态沿水平方向搬运，

所述啮合部位于所搬运的玻璃基板的上方和下方中的至少一方，

所述液体赋予机构从所述啮合部的侧方向所述啮合部吹送液体。

4.根据权利要求3所述的玻璃基板清洗装置，其特征在于，

所述液体赋予机构位于所述啮合部的上方。

5.根据权利要求3或4所述的玻璃基板清洗装置，其特征在于，

还包括清洗液赋予机构，该清洗液赋予机构向所搬运的玻璃基板的玻璃面赋予清洗液，

所述液体赋予机构具有喷出所述液体的液体喷嘴，

所述清洗液赋予机构具有喷出所述清洗液的清洗喷嘴，

所述液体喷嘴位于所述清洗喷嘴的上方。

6.根据权利要求3或4所述的玻璃基板清洗装置，其特征在于，

所述液体赋予机构以圆锥状吹出液体。

7.根据权利要求3或4所述的玻璃基板清洗装置，其特征在于，

所述啮合部分别位于所述玻璃基板的上方和下方，

所述液体赋予机构仅配置在所述玻璃基板的上方。