[实用新型]玻璃基板清洗装置

说明书

本实用新型提供一种玻璃基板清洗装置，其能够抑制齿轮彼此的磨损而实现齿轮的长寿命化，防止由于磨损粉末的附着而产生玻璃基板的品质缺陷。对玻璃基板(G)的玻璃面进行清洗的玻璃基板清洗装置(1)包括多个清洗构件(2)、分别支承多个清洗构件(2)的多个旋转轴(5)、分别设置在多个旋转轴(5)上的多个齿轮(7)、以及驱动多个旋转轴(5)中的至少一个的旋转驱动机构(马达M)，多个齿轮(7)中的相邻的齿轮(7)间相互啮合，所述玻璃基板清洗装置(1)还具有向相邻的齿轮(7)彼此啮合的啮合部(8)赋予液体(L)的液体赋予机构(9)。

技术领域

本实用新型涉及玻璃基板清洗装置的技术。

背景技术

以往已知有在制造平板显示器(FPD)用玻璃基板时，将附着在玻璃基板的玻璃面上的微小玻璃片或尘垢等异物去除的技术。例如如专利文献 1记载。

专利文献1中公开了对玻璃板(玻璃基板)的玻璃面进行清洗的玻璃板清洗装置。玻璃板清洗装置包括：多个清洗构件；旋转轴，其分别支承多个清洗构件；齿轮，其设置在各旋转轴上；以及旋转驱动机构，其驱动旋转轴。玻璃板清洗装置通过采用相邻的齿轮彼此材质不同的结构，从而减小摩擦阻力，抑制由齿轮彼此磨损产生的粉尘排放。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2018-030058号公报

但是，上述的玻璃板清洗装置在齿轮热膨胀的情况下，由于齿轮彼此的啮合加强，因此齿轮彼此磨损增大。这样的齿轮彼此磨损的增大会导致齿轮的寿命变短，且由于磨损粉末的附着而导致玻璃基板品质降低。

实用新型内容

实用新型要解决的课题

本实用新型的课题在于提供一种能够抑制齿轮彼此的磨损而实现齿轮的长寿命化，并防止因磨损粉末的附着而导致玻璃基板品质降低的玻璃基板清洗装置。

用于解决课题的方案

本实用新型要解决的课题如上所述，以下说明解决本课题的方案。

即，本实用新型的玻璃基板清洗装置对玻璃基板的玻璃面进行清洗，所述玻璃基板清洗装置包括：多个清洗构件；多个旋转轴，它们分别支承多个清洗构件；多个齿轮，它们分别设置在多个旋转轴上；以及旋转驱动机构，其驱动多个旋转轴中的至少一个，多个齿轮中的相邻的齿轮彼此相互啮合，所述玻璃基板清洗装置的特征在于，还包括液体赋予机构，该液体赋予机构向相邻的齿轮彼此啮合的啮合部赋予液体。

根据这样的本实用新型中的玻璃基板清洗装置，通过利用液体使齿轮冷却来防止齿轮热膨胀。另外，附着在齿轮彼此的啮合部的液体使齿轮彼此的摩擦阻力减小。因此，能够抑制齿轮彼此的磨损而实现齿轮的长寿命化，并防止由于磨损粉末的附着而导致玻璃基板品质降低。

另外，优选的是，在本实用新型的玻璃基板清洗装置的基础上，相邻的齿轮中的一个齿轮为金属制且另一个齿轮为树脂制。

根据这样的本实用新型中的玻璃基板清洗装置，不易产生在使金属制的齿轮彼此啮合构成的情况下产生的金属粉末。由此，能够防止金属粉末对玻璃板的玻璃面的污染。此外，由于使用了金属制的齿轮，因此与使树脂制的齿轮彼此啮合构成的情况相比，齿轮的耐久性提高，能够抑制齿轮的更换频率，不会在装置维护方面耗费时间。

另外，优选的是，在本实用新型的玻璃基板清洗装置的基础上，所述玻璃基板以水平姿态的状态沿水平方向搬运，所述啮合部位于所搬运的玻璃基板的上方和下方中的至少一方，所述液体赋予机构从所述啮合部的侧方向该啮合部吹送液体。

根据这样的本实用新型中的玻璃基板清洗装置，能够直接从侧方向啮合部赋予液体，能够适当地向啮合部赋予液体。

另外，优选的是，在本实用新型的玻璃基板清洗装置的基础上，液体赋予机构位于啮合部的上方。