[实用新型]一种内置于真空腔体的磁钢摆动式端头组件

权利要求书

1.一种内置于真空腔体的磁钢摆动式端头组件，其特征在于，包括装置本体(3)、磁钢(1)、靶管(2)、磁钢芯轴(6)、轴承(7)、盖板(4)、端头(5)、第一传动部件(8)、第二传动部件、靶管旋转传动件(9)和磁钢摆动传动件(10)；

磁钢(1)与靶管(2)均转动设置在装置本体(3)内部；装置本体(3)设置在端头(5)的上方；盖板(4)设置在端头(5)的一侧；其中，盖板(4)朝向装置本体(3)与端头(5)的一侧为真空环境，盖板(4)另一侧为大气环境；

磁钢(1)的底部与磁钢芯轴(6)连接；磁钢芯轴(6)转动安装在端头(5)内部，其中，磁钢芯轴(6)顶部和中部的外周均设置有轴承(7)，轴承(7)设置在端头(5)内部；磁钢芯轴(6)下部与第一传动部件(8)传动连接；

靶管(2)与端头(5)通过卡箍连接，磁钢(1)设置在靶管(2)内部；靶管(2)的下部与第二传动部件传动连接；

磁钢摆动传动件(10)的一端穿过盖板(4)伸入端头(5)内部并与第一传动部件(8)传动连接，其另一端与马达动力连接；

靶管旋转传动件(9)的一端穿过盖板(4)伸入端头(5)内部并与第二传动部件传动连接，其另一端连接动力机构。

2.根据权利要求1所述的内置于真空腔体的磁钢摆动式端头组件，其特征在于，马达上设有用于控制马达转动角度的控制器和控制系统。