[实用新型]一种内置于真空腔体的磁钢摆动式端头组件

说明书

一种内置于真空腔体的磁钢摆动式端头组件，包括装置本体、磁钢、靶管、磁钢芯轴、轴承、盖板、端头、第一传动部件、第二传动部件、靶管旋转传动件和磁钢摆动传动件；磁钢与靶管均转动设置在装置本体内部；装置本体设置在端头的上方；磁钢的底部与磁钢芯轴连接；磁钢芯轴转动安装在端头内部，磁钢芯轴外周设置有轴承；磁钢芯轴下部与第一传动部件传动连接；靶管设置在磁钢的外周，靶管的下部与第二传动部件传动连接；磁钢摆动传动件一端与第一传动部件传动连接，另一端与马达动力连接；靶管旋转传动件的一端与第二传动部件传动连接，另一端连接动力机构。本实用新型中，具有更好的靶材溅射沉积速率，以及更小的安装空间和更加优化的产线布局。

技术领域

本实用新型涉及磁控溅射镀膜的端头设备领域，尤其涉及一种内置于真空腔体的磁钢摆动式端头组件。

背景技术

在旋转阴极连续镀膜生产线上，端头带动靶材旋转，在满足一定的工艺环境要求下，将靶材溅射到玻璃基片上，以获得符合产品要求的膜层。

现有设备中，包括以下三种结构：1、端头内置于真空腔体且磁钢静止不动式；2、端头外置于真空腔体且磁钢静止不动式；3、端头外置于真空腔体且磁钢摆动式。

如图1所示，为端头内置于真空腔体且磁钢静止不动式的结构，此端头结构主要缺点是：磁钢无法摆动，影响靶材溅射速率及成膜均一性。

如图2所示，为端头外置于真空腔体且磁钢静止不动式的结构，此端头结构主要缺点是：磁钢无法摆动，端头外形尺寸稍大，占用较大空间。

如图3所示，端头外置于真空腔体且磁钢摆动式的结构，此端头结构主要缺点是：端头外形尺寸较大，占用更多空间，不利于整线布局，使用较为不便。

因此，如何获得更好的靶材溅射沉积速率以及更小的安装空间，以及如何优化产线布局，是需要解决的问题。

实用新型内容

(一)实用新型目的

为解决背景技术中存在的技术问题，本实用新型提出一种内置于真空腔体的磁钢摆动式端头组件，具有更好的靶材溅射沉积速率，以及更小的安装空间和更加优化的产线布局。

(二)技术方案

为解决上述问题，本实用新型提供了一种内置于真空腔体的磁钢摆动式端头组件，包括装置本体、磁钢、靶管、磁钢芯轴、轴承、盖板、端头、第一传动部件、第二传动部件、靶管旋转传动件和磁钢摆动传动件；

磁钢与靶管均转动设置在装置本体内部；装置本体设置在端头的上方；盖板设置在端头的一侧；其中，盖板朝向装置本体与端头的一侧为真空环境，盖板另一侧为大气环境；

磁钢的底部与磁钢芯轴连接；磁钢芯轴转动安装在端头内部，其中，磁钢芯轴顶部和中部的外周均设置有轴承，轴承设置在端头内部；磁钢芯轴下部与第一传动部件传动连接；

靶管与端头通过卡箍连接，磁钢设置在靶管内部；靶管的下部与第二传动部件传动连接；

磁钢摆动传动件的一端穿过盖板伸入端头内部并与第一传动部件传动连接，其另一端与马达动力连接；

靶管旋转传动件的一端穿过盖板伸入端头内部并与第二传动部件传动连接，其另一端连接动力机构。

优选的，马达上设有用于控制马达转动角度的控制器和控制系统。

本实用新型的上述技术方案具有如下有益的技术效果：

本实用新型中，靶管溅射沉积速率更高，膜层均一性更好，相比于磁钢静止不动时的效果更好，具有更小的安装空间和更加优化的产线布局。

本实用新型中，实现磁钢在靶管内部旋转的过程，马达通过磁钢摆动传动件、第一传动部件而带动磁钢的摆动，控制器和控制系统用于控制马达旋转角度，从而实现对磁钢的摆动的角度的控制。