[实用新型]一种防止硅片磨损的PECVD石墨舟

说明书

本实用新型公开了一种防止硅片磨损的PECVD石墨舟，属于光伏技术领域，其包括若干重叠设置的石墨舟舟页，石墨舟舟页上设有固定太阳能硅片的多个卡点，石墨舟舟页上还设有用于真空作用下吸附固定太阳能硅片的孔洞，石墨舟舟页上均匀间隔设有多个承载位，每个承载位边缘设有用于与硅片接触的延展斜面，所述延展斜面沿着所述承载位边缘首尾相连形成矩形框，延展斜面的内侧棱边为弧形边。本实用新型将石墨舟舟页与太阳能硅片的接触面加工为斜面，使石墨舟的承载位与硅片的接触不再是线性接触，从而减小因PECVD设备在抽真空步骤时，引起石墨舟承载位与硅片接触位置的摩擦划伤。

技术领域

本实用新型属于光伏技术领域，具体涉及一种防止硅片磨损的PECVD石墨舟。

背景技术

随着光伏行业竞争将日趋激烈，太阳能电池技术发展迅猛，各大企业加大了工艺研发和技改投入力度，随着生产工艺水平不断进步，高效电池技术在不断发展的同时，也将面临新的问题和挑战。

在传统PERC工艺过程中，请参阅附图1所示，背面的钝化通常会采用管式PECVD设备沉积背面的氮化硅薄膜，而管式PECVD设备所使用的石墨舟的舟框边缘与硅片的接触是线性接触，在抽真空步骤中，硅片容易受到摩擦划伤引起EL测试下的不良。

专利申请号：CN201620665557.1公开一种石墨舟片及石墨舟，涉及硅片镀膜技术领域。石墨舟片包括石墨舟片本体和承载位，所述承载位凸出于石墨舟片本体的表面，所述承载位上设有镂空，所述承载位的边缘设有多个用于固定硅片的卡点。同时，其还保护一种石墨舟，包括上述石墨舟片。

专利申请号：CN201721773096.0公开了一种石墨舟，包括石墨舟片，所述石墨舟片上设有承载位，所述承载位为镂空设置，且承载位上设有镂空架，所述镂空架采用加强筋结构，所述镂空架与承载位侧壁固定连接，所述承载位四周环设有卡点，所述卡点固定在承载位侧壁上，所述石墨舟片表面设有第一安装孔，所述第一安装孔内设有陶瓷管。

上述两种技术采用凸出石墨舟片本体的承载位，且在承载位内安装有镂空架或设置为镂空结构，采用镂空结构虽然能解决受热翘曲的问题；但当进行抽真空步骤时，镂空架与太阳能硅片之间的接触是线性接触，镂空结构反而会加大硅片与镂空结构之间的摩擦，使得承载位边缘与硅片接触位置摩擦划伤。

上述两种技术中，专利申请号：CN201721773096.0还将镂空架设置为加强筋，这种结构在真空作用下对硅片的伤害更甚。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，提供一种防止硅片磨损的PECVD石墨舟，解决现有的PECVD石墨舟容易引起太阳能硅片造成划伤的问题，将石墨舟舟页与太阳能硅片的接触面加工为斜面，使石墨舟的承载位与硅片的接触不再是线性接触，从而减小因PECVD设备在抽真空步骤时，引起石墨舟承载位与硅片接触位置的摩擦划伤。

本实用新型采用的技术方案如下：

一种防止硅片磨损的PECVD石墨舟，包括若干重叠设置的石墨舟舟页，石墨舟舟页上设有固定太阳能硅片的多个卡点，石墨舟舟页上还设有用于真空作用下吸附固定太阳能硅片的孔洞，石墨舟舟页上均匀间隔设有多个承载位，每个承载位边缘设有用于与硅片接触的延展斜面，所述延展斜面沿着所述承载位边缘首尾相连形成矩形框。

需要说明的是，本实用新型改进石墨舟舟页的结构，使得石墨舟舟页的承载位为矩形开口结构，承载位的边缘加工成延展斜面，延展斜面可以增大与太阳能硅片边缘的接触面积，使得延展斜面与太阳能硅片之间的接触变成非线性接触，从而避免接触位置的摩擦划伤。

进一步的，延展斜面的内侧棱边为弧形边，弧形边能减小与太阳能硅片之间的摩擦，从而降低EL测试下的不良率。

进一步的，承载位和延展斜面的拐角均为倒角。

进一步的，延展斜面与水平面之间形成的倾斜角为3°-5°。