[实用新型]一种晶圆测试机

权利要求书

1.一种晶圆测试机，其特征在于，包括：

机架，其具有托盘放置区以及测试区，所述托盘放置区设置有盛放晶圆的托盘；

取放料夹具，其具有取料吸头、放料吸头以及驱动所述取料吸头和放料吸头竖向滑动的驱动机构A，所述取料吸头和放料吸头均与真空发生装置气连接；

驱动机构B，其输出端与所述取放料夹具连接，用于驱动所述取放料夹具在所述托盘放置区和测试区之间转移；

测试夹具，其设置在所述测试区，具有用于晶圆电测试的测试电路板、设置在所述测试电路板正下方用于定位夹紧晶圆的载座以及驱动所述载座竖向滑动的驱动机构C。

2.根据权利要求1所述的晶圆测试机，其特征在于：所述测试夹具沿所述托盘放置区的边缘依次设置有多个。

3.根据权利要求1或2所述的晶圆测试机，其特征在于：所述测试电路板连接有调节其水平方向、竖直方向以及绕竖轴旋转的方向的位置的调节装置。

4.根据权利要求1所述的晶圆测试机，其特征在于：所述驱动机构A包括与所述驱动机构B的输出端连接的连接座、两个均竖向滑动设置在所述连接座上的滑板、两个分别设置在两个所述滑板上方的驱动块、固定连接在所述连接座上的旋转驱动件以及固定连接在所述旋转驱动件的输出端的摆杆；两个所述驱动块均与所述摆杆连接；两个所述滑板与所述连接座之间均设置有复位弹簧；所述取料吸头和所述放料吸头分别与两个滑板连接。

5.根据权利要求1所述的晶圆测试机，其特征在于：所述驱动机构B包括水平设置的横梁A、两个并列设置的横梁B、两个分别转动支承在所述横梁A两端的同步带轮A、包绕在两个所述同步带轮A上的同步带A、固定连接在所述横梁A上的直线导轨A、两个分别转动支承在所述横梁B两端的同步带轮B、包绕在两个所述同步带轮B上的同步带B、固定连接在所述横梁B上的直线导轨B、固定连接在所述机架上的伺服电机A以及与所述伺服电机A的输出轴传动连接的传动轴；所述传动轴的两端分别与位于两个横梁B同一端的同步带轮B固定连接；所述横梁A的两端分别与两个同步带B以及两个直线导轨B的滑块固定连接；所述同步带A和所述直线导轨A的滑块为所述驱动机构B的输出端。

6.根据权利要求1所述的晶圆测试机，其特征在于：所述载座包括载座体和夹紧件；所述载座体开设有定位晶圆的定位凹槽；所述定位凹槽的侧壁开设有与所述夹紧件滑动配合的滑槽；所述夹紧件连接有驱动其远离或靠近所述定位凹槽的驱动机构D。

7.根据权利要求6所述的晶圆测试机，其特征在于：所述驱动机构D包括设置在所述夹紧件和载座体之间的夹紧弹簧和固定在所述机架上的斜锲；所述夹紧件具有延伸至载座体外部且与所述斜锲的斜面相对的驱动部。

8.根据权利要求1所述的晶圆测试机，其特征在于：所述驱动机构C包括KK模组和与所述KK模组的滑块固定连接的升降块；所述升降块为所述载座固定连接。