[实用新型]一种晶圆测试机

说明书

本实用新型公开了一种晶圆测试机，包括：机架，其具有托盘放置区以及测试区，托盘放置区设置有盛放晶圆的托盘；取放料夹具，其具有取料吸头、放料吸头以及驱动取料吸头和放料吸头竖向滑动的驱动机构A，取料吸头和放料吸头均与真空发生装置气连接；驱动机构B，其输出端与取放料夹具连接，用于驱动取放料夹具在托盘放置区和测试区之间转移；测试夹具，其设置在测试区，具有用于晶圆电测试的测试电路板、设置在测试电路板正下方用于定位夹紧晶圆的载座以及驱动载座竖向滑动的驱动机构C。本实用新型避免了夹具配合人工的方式导致的测试效率低的问题。

技术领域

本实用新型属于晶圆测试技术领域，具体涉及一种晶圆测试机。

背景技术

目前，晶圆的电参数测试均采用夹具配合人工的方式进行，测试效率低，且操作人员容易将不良品放入良品中，造成混料。

实用新型内容

为了解决现有技术中晶圆的电参数测试采用夹具配合人工的方式进行导致测试效率低的技术问题，本实用新型目的在于提供一种晶圆测试机。本实用新型通过设置取放料夹具实现从托盘取出待测晶圆和将测试完成的晶圆放入托盘，通过设置驱动机构B实现将待测晶圆转移至测试夹具和将测试完成的晶圆从测试夹具转移至托盘放置区放置，通过测试夹具实现晶圆的电测试，从而避免了夹具配合人工的方式导致的测试效率低的问题。

本实用新型所采用的技术方案为：

一种晶圆测试机，包括：

机架，其具有托盘放置区以及测试区，所述托盘放置区设置有盛放晶圆的托盘；

取放料夹具，其具有取料吸头、放料吸头以及驱动所述取料吸头和放料吸头竖向滑动的驱动机构A，所述取料吸头和放料吸头均与真空发生装置气连接；

驱动机构B，其输出端与所述取放料夹具连接，用于驱动所述取放料夹具在所述托盘放置区和测试区之间转移；

测试夹具，其设置在所述测试区，具有用于晶圆电测试的测试电路板、设置在所述测试电路板正下方用于定位夹紧晶圆的载座以及驱动所述载座竖向滑动的驱动机构C。

作为所述晶圆测试机的进一步可选方案，所述测试夹具沿所述托盘放置区的边缘依次设置有多个。

作为所述晶圆测试机的进一步可选方案，所述测试电路板连接有调节其水平方向、竖直方向以及绕竖轴旋转的方向的位置的调节装置。

作为所述晶圆测试机的进一步可选方案，所述驱动机构A包括与所述驱动机构B的输出端连接的连接座、两个均竖向滑动设置在所述连接座上的滑板、两个分别设置在两个所述滑板上方的驱动块、固定连接在所述连接座上的旋转驱动件以及固定连接在所述旋转驱动件的输出端的摆杆；两个所述驱动块均与所述摆杆连接；两个所述滑板与所述连接座之间均设置有复位弹簧；所述取料吸头和所述放料吸头分别与两个滑板连接。

作为所述晶圆测试机的进一步可选方案，所述驱动机构B包括水平设置的横梁A、两个并列设置的横梁B、两个分别转动支承在所述横梁A两端的同步带轮A、包绕在两个所述同步带轮A上的同步带A、固定连接在所述横梁A上的直线导轨A、两个分别转动支承在所述横梁B两端的同步带轮B、包绕在两个所述同步带轮B上的同步带B、固定连接在所述横梁B上的直线导轨B、固定连接在所述机架上的伺服电机A以及与所述伺服电机A的输出轴传动连接的传动轴；所述传动轴的两端分别与位于两个横梁B同一端的同步带轮B固定连接；所述横梁A的两端分别与两个同步带B以及两个直线导轨B的滑块固定连接；所述同步带A和所述直线导轨A的滑块为所述驱动机构B的输出端。

作为所述晶圆测试机的进一步可选方案，所述载座包括载座体和夹紧件；所述载座体开设有定位晶圆的定位凹槽；所述定位凹槽的侧壁开设有与所述夹紧件滑动配合的滑槽；所述夹紧件连接有驱动其远离或靠近所述定位凹槽的驱动机构D。