[实用新型]载物台测定夹具及涂敷装置

权利要求书

1.一种载物台测定夹具，测定形成有喷出空气的多个孔的铅垂方向向上的上表面的铅垂位置，该上表面是对由搬运往复装置沿规定的搬运方向搬运的基板施加浮起力的浮起载物台所具有的平面，其中，

所述载物台测定夹具具有：

至少一个载物台测定器，测定所述浮起载物台的所述上表面的铅垂位置；以及

连接部，与所述搬运往复装置连接，以能够使所述载物台测定器在所述搬运方向上移动。

2.根据权利要求1所述的载物台测定夹具，其中，

所述连接部具有：

梁部，在与所述搬运方向正交的搬运宽度方向上延伸，并在所述上表面的上方支撑所述载物台测定器；以及

连结件，使所述梁部以能够拆卸的方式与所述搬运往复装置连结。

3.根据权利要求1或2所述的载物台测定夹具，其中，

作为所述上表面的一部分的对象部分的铅垂位置能够通过设置于浮起载物台的调整机构进行调整，

所述载物台测定器设置于能够测定所述对象部分的铅垂位置的位置。

4.根据权利要求1或2所述的载物台测定夹具，其中，

在与所述搬运方向正交的搬运宽度方向上隔开间隔地设置有多个所述载物台测定器。

5.一种涂敷装置，向基板涂敷处理液，其中，

所述涂敷装置具有：

搬运往复装置，将基板沿规定的方向搬运；

浮起载物台，通过从设置于铅垂向上的上表面的多个孔喷出空气，对所述搬运往复装置沿搬运方向搬运的基板施加浮起力；

空气供给部，供给所述空气；

至少一个载物台测定器，测定所述上表面的铅垂位置；

连接部，与所述搬运往复装置连接，以能够使所述载物台测定器在所述搬运方向上移动；

调整件，对作为所述上表面的一部分的对象部分的铅垂位置进行调整；以及

喷嘴，向由所述搬运往复装置沿所述搬运方向搬运的基板喷出处理液。

6.一种载物台测定夹具，测定形成有喷出空气的多个孔的铅垂方向向上的上表面的铅垂位置，该上表面是对沿规定的搬运方向搬运的基板施加浮起力的浮起载物台所具有的平面，其中，

所述载物台测定夹具具有：

至少一个载物台测定器，测定所述浮起载物台的所述上表面的铅垂位置；以及

移动部，使所述载物台测定器在所述搬运方向上移动。