[实用新型]一种相位延迟测量用样品

权利要求书

1.一种相位延迟测量用样品，其特征在于，包括第一石英晶体薄片(11)和第二石英晶体薄片(12)，在所述的第一石英晶体薄片(11)上表面(A11)刻蚀有N个台阶，每个台阶的深度均不同，所述的第一石英晶体薄片(11)的下表面(B11)和第二石英晶体薄片(12)下表面(B12)光胶结合。

2.根据权利要求1所述的一种相位延迟测量用样品，其特征在于，所述的第一石英晶体薄片(11)和第二石英晶体薄片(12)的材料和尺寸相同。

3.根据权利要求1所述的一种相位延迟测量用样品，其特征在于，所述的第一石英晶体薄片(11)的晶轴(110)与其上下表面平行，所述的第二石英晶体薄片(12)的晶轴(120)与其上下表面平行。

4.根据权利要求1所述的一种相位延迟测量用样品，其特征在于，第一石英晶体薄片(11)的上表面(A11)与下表面(B11)的平行度小于1″，透过波前小于λ/10；第二石英晶体薄片(12)的上表面(A12)与下表面(B12)的平行度小于1″，透过波前小于λ/10。

5.根据权利要求1所述的一种相位延迟测量用样品，其特征在于，第一石英晶体薄片(11)中，第N个台阶面(A11N)与第一石英晶体薄片下表面(B11)的平行度小于1″，第N个台阶(11N)口径内透过波前小于λ/10。

6.根据权利要求1所述的一种相位延迟测量用样品，其特征在于，N≥1。

7.根据权利要求1所述的一种相位延迟测量用样品，其特征在于，所述的第一石英晶体薄片(11)的晶轴(110)与第二石英晶体薄片(12)的晶轴(120)垂直。