[实用新型]一种相位延迟测量用样品有效
申请号: | 201921444292.2 | 申请日: | 2019-09-02 |
公开(公告)号: | CN210719635U | 公开(公告)日: | 2020-06-09 |
发明(设计)人: | 刘世杰;王微微;周游;潘靖宇 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02 |
代理公司: | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人: | 张宁展 |
地址: | 201800 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 相位 延迟 测量 样品 | ||
本实用新型提供了一种相位延迟测量用样品,其结构包括,第一石英晶体薄片和第二石英晶体薄片,在所述的第一石英晶体薄片表面刻蚀有N个台阶,每个台阶的深度均不同,所述的第一石英晶体薄片的下表面和第二石英晶体薄片下表面光胶结合。该标准样品具有量值范围宽、易存储等优点,能够满足不同量程相位延迟的测量。
技术领域
本实用新型涉及标准样品技术领域,特别是涉及一种相位延迟测量用样品。
背景技术
在高功率激光材料的生长和加工中,光学材料的相位延迟是一个重要的参数,相位延迟会影响到激光器的输出性能和光束质量。目前能够测量相位延迟的设备虽然有很多,然而具备真正计量条件的设备却甚少。波片相位延迟测量装置采用激光频率分裂原理对光学元件相位延迟进行测量,其测量结果可以溯源到激光波长的基准值。要实现将波片相位延迟装置用于精确测量相位延迟,需要有适用于波片相位延迟装置的标准样品。目前,在GB/T 26827-2011波片相位延迟测量装置的校准方法中,校准用的是一组不同相位延迟的多级波片。该组多级波片数量多,不易于携带和存储,且多级波片容易带来较大的测量误差。
引用文献:GB/T 26827-2011波片相位延迟测量装置的校准方法
实用新型内容
本实用新型的目的在于针对现有技术中的不足之处,提供一种相位延迟测量用样品,有效减少了样品的数量并且提高了测量精度。
为达到上述目的,本实用新型通过以下技术方案实现:
一种相位延迟测量用样品,包括第一石英晶体薄片和第二石英晶体薄片,在所述的第一石英晶体薄片上表面刻蚀有N个台阶,每个台阶的深度均不同,所述的第一石英晶体薄片的下表面和第二石英晶体薄片下表面光胶结合。
所述的一种相位延迟测量用样品,其中,第一石英晶体薄片和第二石英晶体薄片的材料和尺寸相同;
所述的一种相位延迟测量用样品,其中,第一石英晶体薄片的晶轴与其上下表面平行,第二石英晶体薄片的晶轴与其上下表面平行;
所述的一种相位延迟测量用样品,其中,第一石英晶体薄片的上表面与下表面的平行度小于1″,透过波前小于λ/10,第二石英晶体薄片的上表面与下表面的平行度小于1″,透过波前小于λ/10;
所述的一种相位延迟测量用样品,其中,第一石英晶体薄片中,第N 个台阶面与第一石英晶体薄片面的平行度小于1″,第N个台阶口径内透过波前小于λ/10;
所述的一种相位延迟测量用样品,其中,N≥1;
所述的一种相位延迟测量用样品,其中,第一石英晶体薄片的晶轴与第二石英晶体薄片的晶轴垂直;
本实用新型的有益效果是:本实用新型提供了一种相位延迟测量用样品,量值范围宽、易存储、有效减少了样品的数量并且提高了测量精度。
附图说明
图1是本实用新型一种相位延迟测量用样品的第一石英晶体薄片、第二石英晶体薄片俯视图。
图2是本实用新型一种相位延迟测量用样品的第一石英晶体薄片、第二石英晶体薄片侧视图。
图3是本实用新型一种相位延迟测量用样品俯视图。
图4是本实用新型一种相位延迟测量用样品侧视图。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做进一步的说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。
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