[实用新型]一种防漂篮硅片反应槽

权利要求书

1.一种防漂篮硅片反应槽，其特征在于，包括：

主槽(1)，所述主槽(1)被配置为盛装药液；

副槽(2)，所述副槽(2)与所述主槽(1)相连，药液能够在所述主槽(1)和所述副槽(2)之间循环；

温度检测件(3)，所述温度检测件(3)设在所述主槽(1)内，所述温度检测件(3)被配置为检测所述主槽(1)内的药液的温度；

制冷件(4)，所述制冷件(4)设在所述副槽(2)内，所述制冷件(4)被配置为降低所述副槽(2)内药液的温度，所述制冷件(4)被配置为根据所述温度检测件(3)的测量结果调整其工作状态。

2.根据权利要求1所述的防漂篮硅片反应槽，其特征在于，所述主槽(1)包括：

内槽(11)，所述内槽(11)具有进液口(111)，所述进液口(111)与所述副槽(2)相连；

外槽(12)，所述外槽(12)环绕所述内槽(11)设置，所述外槽(12)的底壁位于所述内槽(11)的底壁上方且位于所述内槽(11)的顶壁下方，所述外槽(12)具有出液口(121)，所述出液口(121)与所述副槽(2)相连。

3.根据权利要求2所述的防漂篮硅片反应槽，其特征在于，所述外槽(12)的侧壁上设有液位检测件(8)，所述液位检测件(8)被配置为检测所述外槽(12)内的液面高度；所述进液口(111)和所述副槽(2)之间设有输送泵(9)，所述输送泵(9)被配置为根据所述液位检测件(8)的检测结果调整其工作状态。

4.根据权利要求1所述的防漂篮硅片反应槽，其特征在于，所述制冷件(4)包括冷却盘管(41)，所述冷却盘管(41)设在所述副槽(2)内，所述副槽(2)内设有冷却支撑件(5)，所述冷却盘管(41)设置在所述冷却支撑件(5)上以使所述冷却盘管(41)与所述副槽(2)的底壁间隔设置。

5.根据权利要求4所述的防漂篮硅片反应槽，其特征在于，所述副槽(2)的顶部上设有开口(21)，所述开口(21)上盖合有盖板(22)，所述冷却盘管(41)能够从所述开口(21)穿过。

6.根据权利要求5所述的防漂篮硅片反应槽，其特征在于，所述制冷件(4)还包括进液管(42)和出液管(43)，所述进液管(42)和所述出液管(43)均穿设在所述盖板(22)上，所述进液管(42)通过进液接头(44)与所述冷却盘管(41)的冷却液进口相连，所述出液管(43)通过出液接头(45)与所述冷却盘管(41)的冷却液出口相连。

7.根据权利要求6所述的防漂篮硅片反应槽，其特征在于，所述进液管(42)上设有控制阀(10)，所述控制阀(10)与所述温度检测件(3)电连接，所述控制阀(10)被配置为根据所述温度检测件(3)的检测结果调节开度。

8.根据权利要求1所述的防漂篮硅片反应槽，其特征在于，所述防漂篮硅片反应槽还包括加热件(6)，所述加热件(6)设在所述主槽(1)内，所述加热件(6)被配置为加热所述主槽(1)内的液体。

9.根据权利要求8所述的防漂篮硅片反应槽，其特征在于，所述加热件(6)为加热板，所述主槽(1)内设置加热支撑件(7)，所述加热板设在所述加热支撑件(7)上以使所述加热板与所述主槽(1)的底壁间隔设置。

10.根据权利要求1所述的防漂篮硅片反应槽，其特征在于，所述副槽(2)的侧壁上设有溢流口(23)。