[实用新型]一种可减少断棱的单晶炉有效
| 申请号： | 201921452845.9 | 申请日： | 2019-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN210886309U | 公开（公告）日： | 2020-06-30 |
| 发明（设计）人： | 孟涛;王海庆;姚亮 | 申请（专利权）人： | 包头美科硅能源有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人： | 任立 |
| 地址： | 010000 内蒙古自治区*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 减少 单晶炉 | ||
【权利要求书】：
1.一种可减少断棱的单晶炉，由上往下依次包括上炉筒、副室、炉盖(1)、主炉室(2)和下炉室，所述主炉室(2)内设置有导流筒(3)，其特征在于：所述炉盖(1)上设置有用于将氩气通入主炉室(2)内的氩气管道(4)，所述氩气管道(4)包括环状管路(6)以及位于环状管路(6)两侧的侧边管路(7)，
所述环状管路(6)位于导流筒(3)内侧，所述侧边管路(7)的一端与环状管路(6)连通，另一端穿设炉盖(1)伸至主炉室(2)外，
所述环状管路(6)朝向导流筒(3)的一侧均匀开设有至少两个出气孔(5)。
2.根据权利要求1所述的一种可减少断棱的单晶炉，其特征在于：所述环状管路(6)朝向导流筒(3)一侧均匀开设有四个出气孔(5)。
3.根据权利要求1所述的一种可减少断棱的单晶炉，其特征在于：所述氩气管道(4)包括内管(8)以及包覆在内管(8)外的外管(9)，
所述内管(8)的任意一端与氩气供应端连通，所述内管(8)上开设有排气孔，所述排气孔通过出气管(10)与出气孔(5)连通，
所述外管(9)的一端开设有进水口(11)，另一端开设有出水口(12)。
4.根据权利要求1-3任一所述的一种可减少断棱的单晶炉，其特征在于：所述炉盖(1)上设置有用于驱动氩气管道(4)升降的升降装置(13)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于包头美科硅能源有限公司，未经包头美科硅能源有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201921452845.9/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
