[实用新型]一种可减少断棱的单晶炉

说明书

本实用新型公开了一种可减少断棱的单晶炉，涉及单晶炉技术领域，由上往下依次包括上炉筒、副室、炉盖、主炉室和下炉室，所述主炉室内设置有导流筒，所述炉盖上设置有用于将氩气通入主炉室内的氩气管道，所述氩气管道上开设有出气孔且所述出气孔位于导流筒内侧。本实用新型改变了氩气管道的设置位置，将氩气管道设置在主炉室内，不仅避免氩气将副室内的碳颗粒、硅粉等其它杂质带入熔硅中造成断棱，而且避免了氩气在炉内不同构造中形成气旋而影响温度，有利于拉晶，减少了拉晶过程中的异常比例，减少了断线率。

技术领域

本实用新型涉及单晶炉技术领域，特别是涉及一种可减少断棱的单晶炉。

背景技术

现有的单晶炉中氩气一般由副室顶端通入单晶炉内，并由主炉底部的真空泵抽入主炉炉体内。氩气通过副室进入主炉时，炉内气流容易将炉内碳颗粒、硅粉等其它杂质带入熔硅中造成断棱，也容易造成单晶碳含量上升。另外，由于副室与炉底距离较大，氩气在炉内不同构造中容易形成气旋，影响温度，而且氩气由副室通过熔硅表面，气体温度逐渐上升，等径过程中晶体长度达到一定长度时，影响气体流速及晶体表面温度造成晶体出现变形、扭曲等异常，不利于拉晶。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是，克服现有技术的缺点，提供一种可减少断棱的单晶炉。

为了解决以上技术问题，本实用新型的技术方案如下：

一种可减少断棱的单晶炉，由上往下依次包括上炉筒、副室、炉盖、主炉室和下炉室，所述主炉室内设置有导流筒，所述炉盖上设置有用于将氩气通入主炉室内的氩气管道，所述氩气管道上开设有出气孔且所述出气孔位于导流筒内侧。

进一步地，氩气管道包括环状管路以及位于环状管路两侧的侧边管路，环状管路位于导流筒内侧，侧边管路的一端与环状管路连通，另一端穿设炉盖伸至主炉室外，环状管路朝向导流筒的一侧均匀开设有至少两个出气孔。

前所述的一种可减少断棱的单晶炉，环状管路朝向导流筒一侧均匀开设有四个出气孔。

前所述的一种可减少断棱的单晶炉，氩气管道包括内管以及包覆在内管外的外管，内管的任意一端与氩气供应端连通，内管上开设有排气孔，排气孔通过出气管与出气孔连通，外管的一端开设有进水口，另一端开设有出水口。

前所述的一种可减少断棱的单晶炉，炉盖上设置有用于驱动氩气管道升降的升降装置。

本实用新型的有益效果是：

（1）本实用新型改变了氩气管道的设置位置，将氩气管道设置在主炉室内，不仅避免氩气将副室内的碳颗粒、硅粉等其它杂质带入熔硅中造成断棱，而且避免了氩气在炉内不同构造中形成气旋而影响温度，有利于拉晶，减少了拉晶过程中的异常比例，减少了断线率；

（2）本实用新型将氩气管道的中部设置成环状管路，便于在氩气管道上对称开设多个出气孔，对两侧的导流筒进行吹扫，通过氩气对导流筒进行吹拂洁净，减少了杂质含量，降低了杂质来源，改善了产品品质；

（3）本实用新型在内管中通入氩气，在内管外设置外管并在外管内通入降温水，通过水冷的方式对氩气管道进行降温，避免主炉室内温度过高而影响氩气管道的使用寿命；另外，通过水冷的方式还可对氩气产生一定的降温效果，使氩气冷却晶体结晶面，从而提高等径拉速，提高了产能；

（4）本实用新型在炉盖上还设置有升降装置，通过该升降装置可带动氩气管道升降，从而使出气孔升降，由上而下对导流筒进行吹扫，保证了对导流筒吹拂洁净的效果。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为氩气管道的结构示意图；

图3为图2中环状管路的剖面示意图；