[实用新型]一种三向定位变节距装置有效

专利信息
申请号: 201921455053.7 申请日: 2019-09-03
公开(公告)号: CN210640201U 公开(公告)日: 2020-05-29
发明(设计)人: 张学强;戴军;张建伟;罗银兵;李圣鹤 申请(专利权)人: 罗博特科智能科技股份有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;H01L21/673
代理公司: 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 代理人: 殷海霞
地址: 215000 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 定位 变节 装置
【权利要求书】:

1.一种三向定位变节距装置,其特征在于,包括升降组件和侧推组件,所述升降组件包括上下移动的第一滑块,所述第一滑块上固定设置有顶板,所述顶板下侧设置第一侧板、第二侧板、第一驱动源和第二驱动源,所述第一驱动第一侧板移动,所述第二驱动源驱动第二侧板移动,所述第一侧板与第二侧板的移动方向在同一条直线上,所述第一侧板上设置有多个第一承托槽,多个所述第一承托槽竖直排列,所述第二侧板上设置有多个第二承托槽,多个所述第二承托槽竖直排列,所述第一承托槽与第二承托槽配合以承托硅片;所述侧推组件包括抵推板和第三驱动源,所述第三驱动源驱动抵推板垂直于第一侧板的移动方向移动以抵推硅片的侧面。

2.如权利要求1所述的三向定位变节距装置,其特征在于,所述升降组件包括第一滑轨和第四驱动源,所述第一滑块与第一滑轨配合设置,所述第四驱动源驱动第一滑块沿第一滑轨上下运动。

3.如权利要求1所述的三向定位变节距装置,其特征在于,所述顶板底部设置有第二滑轨,所述第二滑轨上配合设置有第二滑块和第三滑块,所述第二滑块与第一侧板固定设置,所述第三滑块与第二侧板固定设置。

4.如权利要求1所述的三向定位变节距装置,其特征在于,所述第一侧板上设置有两列第一承托槽。

5.如权利要求1所述的三向定位变节距装置,其特征在于,所述第二侧板上设置有两列第二承托槽。

6.如权利要求1所述的三向定位变节距装置,其特征在于,所述抵推板呈H形。

7.如权利要求1所述的三向定位变节距装置,其特征在于,所述第三驱动源为气缸。

8.如权利要求1所述的三向定位变节距装置,其特征在于,所述第一驱动源和第二驱动源为气缸。

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