[实用新型]一种传送晶圆的陶瓷机械手臂

权利要求书

1.一种传送晶圆的陶瓷机械手臂，包括仪器本体（1）和位于仪器本体（1）一侧的抓取机构（2），抓取机构（2）包括承载部（22）、位于所述承载部（22）底部的吸附部（23）和位于所述承载部（22）一侧的安装部（21），其特征在于：所述承载部（22）包括承载晶圆的定位槽（221）和防止晶圆上下晃动的定位块（3），所述定位槽（221）边缘的一侧开设有滑槽（223），所述定位块（3）滑动连接于所述滑槽（223），所述定位块（3）的一侧安装有驱动所述定位块（3）滑动的电子伸缩杆（4）。

2.根据权利要求1所述的一种传送晶圆的陶瓷机械手臂，其特征在于：所述定位槽（221）的顶部设置有导向槽一（222）。

3.根据权利要求1所述的一种传送晶圆的陶瓷机械手臂，其特征在于：所述滑槽（223）为T型的槽，所属定位块（3）为T型的块。

4.根据权利要求3所述的一种传送晶圆的陶瓷机械手臂，其特征在于：所述定位块（3）的底部安装有便于所述定位块（3）滑动的滚珠（311）。

5.根据权利要求1所述的一种传送晶圆的陶瓷机械手臂，其特征在于：所述定位块（3）伸出滑槽（223）的部分设置有缓冲垫（312）。

6.根据权利要求1所述的一种传送晶圆的陶瓷机械手臂，其特征在于：所述安装部（21）开设有导向槽二（231），所述仪器本体（1）安装有沿所述导向槽二（231）滑动的导向柱（11）。

7.根据权利要求6所述的一种传送晶圆的陶瓷机械手臂，其特征在于：所述导向柱（11）转动连接于所述仪器本体（1）。

8.根据权利要求1所述的一种传送晶圆的陶瓷机械手臂，其特征在于：所述安装部（21）与所述承载部（22）均为氧化锆陶瓷。