[实用新型]量测机台有效
申请号: | 201921468941.2 | 申请日: | 2019-09-05 |
公开(公告)号: | CN210165929U | 公开(公告)日: | 2020-03-20 |
发明(设计)人: | 酈唯诚;王金源 | 申请(专利权)人: | 旭晖应用材料股份有限公司;源台精密科技股份有限公司;全洋(黄石)材料科技有限公司 |
主分类号: | G01B21/00 | 分类号: | G01B21/00;G01B11/00;G01B11/24;G01B11/26;G01N21/84;G01B7/34;B25H1/00 |
代理公司: | 北京寰华知识产权代理有限公司 11408 | 代理人: | 何尤玉;郭仁建 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 机台 | ||
1.一种量测机台,其特征在于,包括:
一机台本体,其定义有相互垂直的一X轴、一Y轴及一Z轴,该X轴与该Y轴位于该机台本体的一假想水平面,该Z轴纵向垂直于该假想水平面,该机台本体包括一平台载体,该平台载体为花岗岩或大理石制成至少具备00级精度的石材部件,该平台载体的顶面为平行于该假想水平面的平坦表面;
一石材平台,其固设于该机台本体的平台载体上,该石材平台为花岗岩或大理石制成至少具备00级精度的部件,该石材平台的顶面为平坦表面且平行于该假想水平面,该石材平台中设有沿Z轴方向贯通的一中槽;以及
一量测装置,其能受控运动地装设于机台本体上,该量测装置包括至少一量测组件以及一驱动机构,该量测组件能运动地设置于该石材平台的上方,该驱动机构装设于该机台本体上且连接所述量测组件,并能驱动所述量测组件作三维空间的运动。
2.如权利要求1所述的量测机台,其特征在于,该石材平台的中槽中嵌设一透光载板,该透光载板平行于该假想水平面。
3.如权利要求2所述的量测机台,其特征在于,该石材平台于该中槽的周壁顶部形成一环槽以及位于该环槽下方的一环形承载部,该透光载板的周边嵌入该环槽内且抵靠于该环形承载部上。
4.如权利要求3所述的量测机台,其特征在于,该透光载板为厚度大于或等于12mm的玻璃板,该透光载板的顶面与该石材平台的顶面平齐,或低于该石材平台的顶面。
5.如权利要求1所述的量测机台,其特征在于,该量测装置还包括能由驱动机构带动的一底光源,该底光源位于该机台本体的平台载体与该石材平台之间,且位于该量测组件的正下方。
6.如权利要求2、3或4所述的量测机台,其特征在于,该量测装置还包括能由驱动机构带动的一底光源,该底光源位于该机台本体的平台载体与该透光载板之间,且位于该量测组件的正下方。
7.如权利要求1至4中任一项所述的量测机台,其特征在于,该机台本体于该平台载体的上方且相对于该石材平台的X轴方向相对两侧分别具有一长槽,该石材平台相对于该中槽的X轴方向相对两侧槽壁底部分别形成镂空部,该镂空部于该平台载体上形成一空间,且该镂空部连通该机台本体两侧的长槽;
所述驱动机构包括一X轴向动力组件、一Y轴向动力组件及一Z轴向动力组件,该Y轴向动力组件包括能被驱动的两Y轴驱动导杆,两Y轴向驱动导杆分别自该平台载体上方通过X轴方向相对两侧的长槽伸入该机台本体的空间中,两Y轴向驱动导杆之间连接一连动架而能同步平行运动,该连动架能于该石材平台的X轴方向相对两侧槽壁底部的镂空部中活动,该平台载体的顶面设置一高精度光学尺,该连动架设置一光学尺读取头,且该光学尺读取头与该高精度光学尺相配合,该X轴向动力组件结合一高精度光学尺组件一同设置于该石材平台的上方,且该X轴向动力组件连接于两Y轴驱动导杆上端,该Z轴向动力组件位于该石材平台的上方且连接该X轴向动力组件,且该Z轴向动力组件结合另一高精度光学尺组件连接该量测组件。
8.如权利要求7所述的量测机台,其特征在于,该量测装置还包括一底光源,该底光源位于该机台本体的平台载体与该石材平台之间,该底光源能为该驱动机构的X轴向动力组件与Y轴向动力组件驱动,且位于该量测组件的正下方。
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