[实用新型]量测机台

说明书

一种量测机台，其主要是于机台本体中的平台载体平坦顶面固设口字形石材平台，平台载体与石材平台皆为花岗岩或大理石制成至少具备00级精度的部件，构成双重高精度的高荷重、不易变形的稳固承载结构，且能达到量测机台整体的平坦度，机台本体上设置量测装置，量测装置的量测组件能被驱动于石材平台上方运动，并以一体式口字形石材平台提供大型或重型待量测对象的承载部件，使其在量测过程中，能够精准地控制石材平台载重后的下垂量于可容许的坐标量测误差范围内。量测机台还能在口字形石材平台中嵌设透光载板，作为轻型或小型待量测对象的承载部件，使量测机台也能适用于小型或轻型的待量测对象的量测作业。

技术领域

本实用新型关于一种量测机台，尤指一种非接触式影像量测机台。

背景技术

为了快速检测各式复杂、精密零部件的轮廓、表面尺寸、角度与位置等微观检测等，目前皆利用影像测机台来执行前述的微观检测作业。以目前应用于有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode，OLED)显示面板制程中的金属屏蔽(shadow mask)量测作业的影像量测机台为例，其主要是于一机台本体的载板上设置钢质架杆制成的定位框架，并以定位框架固定可透光的玻璃板，以玻璃板作为待量测对象放置的载体，另机台本体上设置由驱动机构带动的影像撷取器，进一步搭配设置于玻璃板下方能为驱动机构带动的底光源，使其能受控对待量测对象执行影像量测作业。

前述金属屏蔽(shadow mask)配合高分辨率的有机发光二极管(OLED)显示面板的发展趋势，金属屏蔽的图案形状与尺寸等精密度也相对提高。因此，量测机台必需符合高精密度的量测性能，且其承载平台必需具备预定整体平坦度。

目前现有的量测机台为了达到预定的整体平坦度，其承载平台采取多部件组合方式并接的构造，并接时必须逐一部件调整其平坦度，而有难以达到预定整体平坦度要求的问题。此外，现有的量测机台产品中，尚有业者选用花岗岩制成的载板作为钢质的定位框架及其上的玻璃板等具有预定精度且稳定的承载构造，然而花岗岩制成的载板虽然承载强度佳且材质稳定。但是，在执行对象的影像量测作业时，待量测对象必须通过如钢材等金属材料制成的定位框架予以承载定位，或进一步于定位框架下方相对载板上方设置底光源提供辅助光源。

惟前述定位框架的构造仍不易达到整体平坦度要求，而且定位框架承载大型或重待量测对象进行量测时，定位框架的荷重能力有限而会变形，故易因其承载构造载重后的下垂量偏大，导致其坐标量测误差偏大等问题。为了达成量测精度，现有的量测机台实有进一步改善的必要。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种量测机台，解决现有的量测机台难以达到预定整体平坦度要求，以及执行大型或重型待量测对象量测作业时，易因其承载构造荷载重物的下垂量偏大而导致其坐标量测误差偏大等问题。

为了达成前述目的，本实用新型所提供的量测机台包括：

一机台本体，其定义有相互垂直的一X轴、一Y轴及一Z轴，该X轴与该Y轴位于该机台本体的一假想水平面，该Z轴纵向垂直于该假想水平面，该机台本体包括一平台载体，该平台载体为花岗岩或大理石制成至少具备00级精度的石材部件，该平台载体的顶面为平行于该假想水平面的平坦表面；

一石材平台，其固设于该机台本体的平台载体上，该石材平台为花岗岩或大理石制成至少具备00级精度的部件，该石材平台的顶面为平坦表面且平行于该假想水平面，该石材平台中设有沿Z轴方向贯通的一中槽；以及

一量测装置，其能受控运动地装设于机台本体上，该量测装置包括至少一量测组件以及一驱动机构，该量测组件能运动地设置于该石材平台的上方，该驱动机构装设于该机台本体上且连接所述量测组件，并能驱动所述量测组件作三维空间的运动。

借助于前述量测机台的创作，其至少具备以下特点：