[实用新型]真空腔室的真空平衡结构

说明书

本实用新型涉及真空贴合的技术领域，公开了真空腔室的真空平衡结构，包括处于真空腔室内的治具板，治具板内设有内腔室；治具板上具有吸合面，吸合面上设置有静电吸片以及真空吸孔，真空吸孔与内腔室连通；治具板上设有连通孔以及平衡孔，连通孔及平衡孔分别连通内腔室及外部，真空发生器通过连接管与连通孔连接；平衡孔上设置有自动平衡结构，内腔室内的压力大于真空腔室内的压力时，自动平衡结构打开平衡孔，内腔室与真空腔室连通；治具板处于真空腔室，内腔室的压力大于真空腔室的压力时，自动平衡结构打开平衡孔，内腔室与真空腔室连通，使内腔室与真空腔室的压力一致，工件的表面没有压差，治具板通过静电吸片吸附工件，实现对工件的固定。

技术领域

本实用新型专利涉及真空贴合的技术领域，具体而言，涉及真空腔室的真空平衡结构。

背景技术

在制造加工中，许多加工产品对加工的环境具有特殊要求，比如真空环境。利用真空控制结构将容器内的空气抽取出来，使得容器内部气压减小，形成真空腔室，将工件放入真空腔室内进行真空贴合，使产品符合加工要求。

目前的真空贴合过程中，通过治具板的内腔体产生真空，利用真空吸孔和静电吸片吸附工件，再对治具板所处的真空腔室进行抽真空，开始真空贴合工序，其中治具板的内腔体压力大于真空腔室的压力。

上述的真空贴合过程，由于治具板的内腔室的压力大于真空腔室内的压力，工件表面产生压差，治具板上的真空吸孔会对工件产生推力，容易导致工件脱离治具板，导致治具板无法固定工件，真空贴合失败。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供真空腔室的真空平衡结构，旨在解决现有技术中，真空贴合过程中工件表面存在压差导致工件无法固定的问题。

本实用新型是这样实现的，真空腔室的真空平衡结构，包括处于真空腔室内的治具板，所述治具板内设有内腔室；所述治具板上具有吸合面，所述吸合面上设置有静电吸片以及真空吸孔，所述真空吸孔与所述内腔室连通；所述治具板上设有连通孔以及平衡孔，所述连通孔及所述平衡孔分别连通所述内腔室及外部，真空发生器通过连接管与所述连通孔连接；所述平衡孔上设置有自动平衡结构，当所述内腔室内的压力大于所述真空腔室内的压力时，所述自动平衡结构打开所述平衡孔，所述内腔室与所述真空腔室连通。

进一步地，当所述内腔室内的压力与所述真空腔室的压力的差值超过设定范围时，所述自动平衡结构打开所述平衡孔；当所述内腔室内的压力与所述真空腔室内的压力的差值低于设定范围时，所述自动平衡结构封闭所述平衡孔。

进一步地，所述自动平衡结构包括弹片，所述弹片具有固定段以及受力相对于所述固定段弹性摆动的活动段，所述固定段固定连接在所述治具板上，所述活动段覆盖在所述平衡孔上；当所述活动段抵压在所述治具板上，所述活动段封闭所述平衡孔，当所述活动段偏离所述治具板摆动后，所述平衡孔打开。

进一步地，所述治具板具有封闭面，所述平衡孔的开口形成在所述封闭面上；所述活动段具有朝向所述治具板的封闭面的抵压面，所述抵压面凸设有弹性层，当所述弹性层抵压在所述治具板的封闭面上后，所述弹性层封盖所述平衡孔的开口，封闭所述平衡孔。

进一步地，所述固定段与所述活动段呈弯折布置，沿所述固定段至所述活动段的延伸方向，所述活动段偏离所述治具板弯折布置。

进一步地，所述弹片具有背离所述治具板的外表面，所述弹片的外表面上设置有弯折过渡痕，所述弯折过渡痕形成在所述固定段与所述活动段的相对弯折处，所述弯折过渡痕上凸设有筋条，所述筋条沿着所述弯折过渡痕的长度方向延伸布置。

进一步地，所述弯折过渡痕呈弯曲状，所述弯折过渡痕的中部朝向所述活动段凸出。