[实用新型]一种电路内嵌式12电极石英加速度计

权利要求书

1.一种电路内嵌式12电极石英加速度计，其特征在于，包括：外壳、支撑座、敏感元件、内嵌式电路板和插座；

所述外壳与所述支撑座连接装配成一腔体；

所述插座设置于所述支撑座上；所述敏感元件设置于所述支撑座上；

所述支撑座包括：单岛基座和中央单岛；所述敏感元件包括：六电极谐振器；所述单岛基座与所述外壳密封连接装配成一腔体；所述单岛基座与所述中央单岛连接，所述中央单岛将所述敏感元件的腔体分为两个对称设置的子腔体，所述六电极谐振器分别设置于所述中央单岛两侧的子腔体中，所述单岛基座设置有两个对称设置的下沉槽，所述内嵌式电路板分别设置于所述下沉槽。

2.根据权利要求1所述的电路内嵌式12电极石英加速度计，其特征在于，所述下沉槽的形状为与所述内嵌式电路板相适配的L型。

3.根据权利要求1所述的电路内嵌式12电极石英加速度计，其特征在于，所述下沉槽的槽深为3mm。

4.根据权利要求1所述的电路内嵌式12电极石英加速度计，其特征在于，所述下沉槽的槽底设置有安装螺母孔，所述内嵌式电路板上设置有安装螺孔，所述内嵌式电路板设置于所述下沉槽后，通过固定螺钉在安装螺母孔位置连接。

5.根据权利要求1所述的电路内嵌式12电极石英加速度计，其特征在于，所述内嵌式电路板上设置有信号处理芯片和谐振器激励电路。

6.根据权利要求1所述的电路内嵌式12电极石英加速度计，其特征在于，所述六电极谐振器的一端与所述中央单岛中部的支撑平台焊接，所述六电极谐振器的另一端与所述单岛基座中部的支撑平台焊接。

7.根据权利要求6所述的电路内嵌式12电极石英加速度计，其特征在于，

所述中央单岛的上部设置有惯性质量块；

所述中央单岛的下部与所述单岛基座的连接处为柔性连接；

所述中央单岛的中部两侧设置有用于镶嵌所述六电极谐振器的对称支撑平台。

8.根据权利要求6所述的电路内嵌式12电极石英加速度计，其特征在于，

所述单岛基座上部设置有插座孔，所述插座安装在所述单岛基座上部对应的插座孔内，并由紧定螺钉锁紧；

所述单岛基座的下部有安装螺母孔；

所述单岛基座的中部两侧设置有用于镶嵌六电极谐振器的对称支撑平台。