[实用新型]一种电路内嵌式12电极石英加速度计

说明书

本实用新型涉及敏感电子学技术领域，尤其是涉及一种电路内嵌式12电极石英加速度计，可应用于飞行器、车辆、舰船、工业自动化领域等的检测控制系统。该电路内嵌式12电极石英加速度计包括：外壳、支撑座、敏感元件、内嵌式电路板和插座；所述外壳与所述支撑座连接装配成一腔体；所述插座设置于所述支撑座上；所述敏感元件设置于所述支撑座上；所述内嵌式电路板设置于所述敏感元件的内部。本实用新型采用六电极20MHz的谐振器作信号获取元件，通过将六电极谐振器的激励电路改进为内嵌式，并置于敏感元件的腔体之内，提高了检测的灵敏度。

技术领域

本实用新型涉及敏感电子学技术领域，尤其是涉及一种电路内嵌式12电极石英加速度计，具体可应用于飞行器、车辆、舰船、工业自动化领域等的检测控制系统。

背景技术

石英晶体有良好的物理、化学稳定性，其具有的压电效应在力、应力检测方面得到了广泛的应用，特别是在数字式检测控制领域，石英元件因其具有较强的优势而一直受到人们的持久关注。现有专利文献，例如：ZL 201410014008.3，公开了一种单岛多电极石英加速度计，该单岛多电极石英加速度计采用两个三电极谐振器作信号获取元件，谐振器电极较大，激励电路在敏感转换结构的壳体外面能正常工作。但是，若采用六电极20MHz的谐振器作信号获取元件，若激励电路仍置于壳体外面，则连线干扰较大，检测灵敏度降低。

公开于该背景技术部分的信息仅仅旨在加深对本申请的总体背景技术的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域技术人员所公知的现有技术。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种电路内嵌式12电极石英加速度计，以解决现有技术中存在的技术问题。

为了实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

本实用新型提供一种电路内嵌式12电极石英加速度计，其包括：外壳、支撑座、敏感元件、内嵌式电路板和插座；

所述外壳与所述支撑座连接装配成一腔体；

所述插座设置于所述支撑座上；

所述敏感元件设置于所述支撑座上；所述支撑座包括：单岛基座和中央单岛；

所述敏感元件包括：六电极谐振器；所述单岛基座与所述外壳密封连接装配成一腔体；所述单岛基座与所述中央单岛连接，所述中央单岛将所述敏感元件的腔体分为两个对称设置的子腔体，所述六电极谐振器分别设置于所述中央单岛两侧的子腔体中，所述单岛基座设置有两个对称设置的下沉槽，所述内嵌式电路板分别设置于所述下沉槽。

作为一种进一步的技术方案，所述下沉槽的形状为与所述内嵌式电路板相适配的L型。

作为一种进一步的技术方案，所述下沉槽的槽深为3mm。

作为一种进一步的技术方案，所述下沉槽的槽底设置有安装螺母孔，所述内嵌式电路板上设置有安装螺孔，所述内嵌式电路板设置于所述下沉槽后，通过固定螺钉在安装螺母孔位置连接。

作为一种进一步的技术方案，所述内嵌式电路板上设置有信号处理芯片和谐振器激励电路。

作为一种进一步的技术方案，所述六电极谐振器的一端与所述中央单岛中部的支撑平台焊接，所述六电极谐振器的另一端与所述单岛基座中部的支撑平台焊接。

作为一种进一步的技术方案，所述中央单岛的上部设置有惯性质量块；所述中央单岛的下部与所述单岛基座的连接处为柔性连接；所述中央单岛的中部两侧设置有用于镶嵌所述六电极谐振器的对称支撑平台。

作为一种进一步的技术方案，所述单岛基座上部设置有插座孔，所述插座安装在所述单岛基座上部对应的插座孔内，并由紧定螺钉锁紧；所述单岛基座的下部有安装螺母孔；所述单岛基座的中部两侧设置有用于镶嵌六电极谐振器的对称支撑平台。