[实用新型]一种酸性蚀刻液循环再生装置

权利要求书

1.一种酸性蚀刻液循环再生装置，包括电解槽（3），其特征在于，还包括循环槽（1）、氯气吸收回用塔（4）；所述电解槽（3）内设有阳极区（31）和阴极区（32）；所述循环槽（1）包括槽体，所述槽体的底部通过隔板分割为阳极循环区（11）、蚀刻循环区（12）和阴极循环区（13），蚀刻循环区（12）和阳极循环区（11）顶部相通；所述电解槽的阳极区（31）分别与循环槽的阳极循环区（11）和蚀刻循环区（12）连通；所述电解槽的阴极区（32）与阴极循环区（13）相互连通；所述电解槽的阳极区（31）和阴极区（32）以及所述循环槽（1）的蚀刻循环区（12）与氯气吸收回用塔（4）连通；所述氯气吸收回用塔（4）与循环槽（1）的阳极循环区（11）连通。

2.根据权利要求1所述酸性蚀刻液循环再生装置，其特征是，所述循环槽（1）顶部设有至少一个排气管，所述阳极循环区（11）、蚀刻循环区（12）和阴极循环区（13）的侧壁上分别设有多个进液管和出液管，用于与外部设备循环。

3.根据权利要求1所述酸性蚀刻液循环再生装置，其特征是，所述阳极循环区（11）、蚀刻循环区（12）和阴极循环区（13）内分别设有液位控制器。

4.根据权利要求1所述酸性蚀刻液循环再生装置，其特征在于，还包括母液储备桶（5），母液储备桶（5）与阳极循环区（11）、蚀刻循环区（12）和阴极循环区（13）连通。

5.根据权利要求1所述的酸性蚀刻液循环再生装置，其特征在于，还包括再生液储备桶（6），再生液储备桶（6）与阳极循环区（11）和阴极循环区（13）连通。

6.根据权利要求1所述的酸性蚀刻液循环再生装置，其特征在于，电解槽（3）内设有多个阳极区（31）。

7.根据权利要求1所述的酸性蚀刻液循环再生装置，其特征在于，所述电解槽的阴极区（32）之后还依次连接有清洗槽（9）和抗氧化槽（10）。