[实用新型]一种硅片导载装置

权利要求书

1.一种硅片导载装置，其特征在于，包括梳齿片和插板，所述插板上等距离设置有若干插槽，所述梳齿片一端插入所述插槽内，相邻梳齿片之间形成让位槽，所述插板一侧面设有贯通所述插槽的锁紧螺纹孔，锁紧螺钉通过锁紧螺纹孔抵接梳齿片，以固定所述梳齿片，所述梳齿片另一端开设有沿竖直方向延伸的顶升槽。

2.如权利要求1所述的一种硅片导载装置，其特征在于，所述插槽贯穿所述插板，所述插槽一端设置有底板，所述底板与所述插板通过紧固螺钉固定连接。

3.如权利要求2所述的一种硅片导载装置，其特征在于，所述底板截面为凸形，所述插板底面为与所述底板配合的凹形。

4.如权利要求1所述的一种硅片导载装置，其特征在于，所述顶升槽的底部设有向梳齿片一侧倾斜的安放斜面，所述安放斜面与水平面的夹角为30°～60°。

5.如权利要求1所述的一种硅片导载装置，其特征在于，所述顶升槽的深度不大于让位槽的深度。

6.如权利要求1所述的一种硅片导载装置，其特征在于，所述顶升槽的宽度小于让位槽的宽度。

7.如权利要求1所述的一种硅片导载装置，其特征在于，所述顶升槽的顶部开口处设置有使得所述顶部开口逐渐外扩的引导斜面。

8.如权利要求7所述的一种硅片导载装置，其特征在于，所述引导斜面与竖直方向之间的夹角为5°～15°。