[实用新型]一种硅片导载装置

说明书

本实用新型公开了一种硅片导载装置，包括梳齿片和插板，所述插板上等距离设置有若干插槽，所述梳齿片一端插入所述插槽内，相邻梳齿片之间形成让位槽，所述插板一侧面设有贯通所述插槽的锁紧螺纹孔，锁紧螺钉通过锁紧螺纹孔抵接梳齿片，以固定所述梳齿片，所述梳齿片另一端开设有沿竖直方向延伸的顶升槽，保证梳齿片厚度的同时使梳齿片方便拆卸，提高更换效率，减小梳齿片损坏带来的影响。

技术领域

本实用新型涉及半导体元件制造设备技术领域，具体涉及一种硅片导载装置。

背景技术

太阳能电池产业近年来发展迅速，用于太阳能电池制造的装备也因此呈现迅速的发展趋势。太阳能电池制造过程中使用的硅片转载设备就是其中之一。

为了形成太阳能电池片中的PN结，业界通常对掺杂有硼(B)等三价元素的P型硅片进行磷扩散。现在通用的磷扩散工艺是在含磷元素的扩散炉中进行，为了提高硅片磷扩散的效率，通常会将多片硅片插置在石英舟中，再将石英舟放入扩散炉进行磷扩散。

在现有技术中，采用硅片转载设备用于将硅片从承载盒转载到石英舟中。硅片转载设备通过硅片导载装置将硅片从承载盒转载到石英舟中，硅片导载装置设置有等距离分布的齿部，硅片卡在多个齿部的齿缝中，导载装置上下移动将硅片导载至石英舟的插槽内。导载装置的齿部为一体设置，当有个别齿部损坏整个导载装置需要整体进行拆卸或者全部更换，操作繁琐，成本高。

发明内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种便于拆卸更换顶齿，提高使用寿命的硅片导载装置。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种硅片导载装置，包括梳齿片和插板，所述插板上等距离设置有若干插槽，所述梳齿片一端插入所述插槽内，相邻梳齿片之间形成让位槽，所述插板一侧面设有贯通所述插槽的锁紧螺纹孔，锁紧螺钉通过锁紧螺纹孔抵接梳齿片，以固定所述梳齿片，所述梳齿片另一端开设有沿竖直方向延伸的顶升槽。

进一步的，所述插槽贯穿所述插板，所述插槽一端设置有底板，所述底板与所述插板通过紧固螺钉固定连接。

进一步的，所述底板截面为凸形，所述插板底面为与所述底板配合的凹形。

进一步的，所述顶升槽的底部设有向梳齿片一侧倾斜的安放斜面，所述安放斜面与水平面的夹角为30°～60°。

进一步的，所述顶升槽的深度不大于让位槽的深度。

进一步的，所述顶升槽的宽度小于让位槽的宽度。

进一步的，所述顶升槽的顶部开口处设置有使得所述顶部开口逐渐外扩的引导斜面。

进一步的，所述引导斜面与竖直方向之间的夹角为5°～15°。

本实用新型的一种硅片导载装置与现有技术相比的有益效果是，保证梳齿片厚度的同时使梳齿片方便拆卸，提高更换效率，减小梳齿片损坏带来的影响。

附图说明

图1是本实用新型的整体结构示意图；

图2是本实用新型的实施例一正视图；

图3是图2中A区结构放大图；

图4是本实用新型的实施例二工作结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好地理解本实用新型并能予以实施，但所举实施例不作为对本实用新型的限定。