[实用新型]一种用于硅圆晶片加工的电机安装平台

说明书

本实用新型提供了一种用于硅圆晶片加工的电机安装平台，包括支撑机构、滚柱和调节机构，支撑机构包括滚道平台和与滚道平台相连接的支撑柱，滚道平台沿水平方向设置，滚道平台上还预留多个安装轨道，安装轨道还互相平行，滚柱设置于安装轨道内，滚柱为圆柱体形，滚道平台还连接多个支撑柱；支撑柱的一端连接安装平台的底面，支撑柱的另一端还预留安装槽，多个支撑柱还分别通过安装槽连接于调节机构；调节机构包括螺纹槽和与螺纹槽相匹配的地脚螺栓，螺纹槽固定于安装槽的内部，地脚螺栓还通过地脚螺栓的螺纹端连接于螺纹槽。本实用新型提高了硅圆晶片加工过程中电极安装的安全性和便捷性。

技术领域

本实用新型属于硅圆晶生产技术领域，具体涉及一种用于硅圆晶片加工的电机安装平台。

背景技术

多线切割技术是硅晶圆加工的一种新型切割加工方法，它的工作原理是通过金属线缠绕在滚筒上，组成线网，金属线通过导轮系统的带动，高速往复运动，把刃料带入加工区域对硅晶圆进行研磨，将晶棒一次的，同时的切割成数百片厚度比较一致的薄片。

常用的多线切割机，如NTC442DM，机型结构紧凑，工作空间狭小。在实际操作中，因为NTC442DM的工作区非常狭窄，线轮电机本体体积大又非常重，所在电机固定区域没有吊装空间，遇到故障时无法快速拆卸及维修，并且在操作过程中还具有安全隐患。

实用新型内容

为了解决上述问题，本实用新型提供一种用于硅圆晶片加工的电机安装平台，提高了硅圆晶片加工过程中电极安装的安全性和便捷性。

为了实现上述目的，本实用新型采用的技术方案为：

一种用于硅圆晶片加工的电机安装平台，其特征在于：包括支撑机构、滚柱和调节机构，所述支撑机构包括滚道平台和与滚道平台相连接的支撑柱，所述滚道平台沿水平方向设置，滚道平台上还预留多个安装轨道，所述安装轨道还互相平行，所述滚柱设置于所述安装轨道内，所述滚柱为圆柱体形，所述滚道平台还连接多个支撑柱；支撑柱的一端连接安装平台的底面，支撑柱的另一端还预留安装槽，多个支撑柱还分别通过安装槽连接于所述调节机构；所述调节机构包括螺纹槽和与螺纹槽相匹配的地脚螺栓，所述螺纹槽固定于所述安装槽的内部，所述地脚螺栓还通过地脚螺栓的螺纹端连接于所述螺纹槽。

进一步的，所述滚道平台为矩形板。

进一步的，所述安装轨道为半圆柱形凹槽。

进一步的，所述支撑柱设置为4个以上。

进一步的，所述支撑柱还包括第一支撑柱和第二支撑柱，所述第一支撑柱通过调节机构设置于设备外部地面，所述第二支撑柱通过调节机构设置于设备内部底，所述第一支撑柱和所述第二支撑柱均设置为2个，第一支撑柱之间的连线和第二支撑柱之间的连线均与安装轨道相平行。

进一步的，所述地脚螺栓为平头螺栓。

本实用新型的有益效果为：本实用新型的一种用于硅圆晶片加工的电机安装平台，根据设备内部电机固定平台，与设备外现场地平面的高度差，设计一个可调节高低的不等高支撑腿的滚道平台，第二支撑柱为低支撑腿，放在设备内部底面，第一支撑柱为高支撑腿，放在设备外部地面。另外还通过调节支撑柱下方的调节机构，使整个安装平台平面与设备内部电机固定平台水平，实现电机在安装及拆卸过程中的便捷性及安全性。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型与金刚线切片机的配合图；

图3为支撑柱与调节机构的配合图。

其中，图中各标号为：1、滚道平台，2、安装轨道，3、滚柱，4、支撑柱，401、第一支撑柱，402、第二支撑柱，5、安装槽，6、螺纹槽，7、地脚螺栓，8、电机，9、电机固定平台，10、切片机内部底面，11、地面。

具体实施方式