[实用新型]一种单晶炉炉压调节装置

权利要求书

1.一种单晶炉炉压调节装置，包括不锈钢环架（1）、电控部分（2），其特征在于：还包括阀板（3）和环形胶木阀套（4）；

所述阀板（3）的边缘呈减少接触面积的锯齿结构（5），所述锯齿结构（5）的外围相配合设置环形胶木阀套（4），环形胶木阀套（4）嵌于所述不锈钢环架（1）和阀板（3）之间，且环形胶木阀套（4）不做运转，所述不锈钢环架（1）与阀板（3）形状相配合，所述环形胶木阀套（4）为分别与不锈钢环架（1）、阀板（3）均相配合的环形结构；所述电控部分（2）设置在不锈钢环架（1）的一侧且分别与不锈钢环架（1）、阀板（3）电连接，所述电控部分（2）带动阀板（3）做正反转动。

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉炉压调节装置，其特征在于：所述锯齿结构（5）为多个V字形板（501）依次连接且组成阀板（3）边缘的环形结构。

3.根据权利要求2所述的一种单晶炉炉压调节装置，其特征在于：多个所述的V字形板（501）的端部均处于同一平面上。

4.根据权利要求1所述的一种单晶炉炉压调节装置，其特征在于：所述不锈钢环架（1）为环形结构。

5.根据权利要求1所述的一种单晶炉炉压调节装置，其特征在于：所述阀板（3）为圆形结构。

6.根据权利要求1所述的一种单晶炉炉压调节装置，其特征在于：所述电控部分（2）为电控盒，其中的内部电路控制且带动阀板（3）做正反转动，进而调整比例阀的位置开启度。