[实用新型]一种单晶炉炉压调节装置

说明书

一种单晶炉炉压调节装置，包括不锈钢环架、电控部分，还包括阀板和环形胶木阀套；阀板的边缘呈减少接触面积的锯齿结构，锯齿结构的外围相配合设置环形胶木阀套，环形胶木阀套嵌于所述不锈钢环架和阀板之间，且环形胶木阀套不做运转，电控部分设置在不锈钢环架的一侧且分别与不锈钢环架、阀板电连接，所述电控部分带动阀板做正反转动。本实用新型一方面降低了运行过程中挥发物沉积、减少负载运行过重对电路的损坏的风险；另一方面，阀板比起原来结构减小，紧贴周围有环形胶木阀套防护，机械运行的力度大大降低，阀板与环形胶木阀套的密封性能完好结合，设备压力控制稳定可靠。

技术领域

本实用新型涉及单晶生产技术领域，特别涉及一种单晶炉炉压调节装置。

背景技术

EKZ2700单晶炉是单晶产品拉制过程的基础环节，也是半导体材料硅由多晶硅转换成单晶硅成品的关键设备。炉压受控，设备才能可靠运行，才能保证产品拉制合格，单晶炉炉压控制的比例阀更是单晶拉制合格产品不可缺少的一部分。

单晶拉制过程使用的单晶炉EKZ2700设备，比例阀在拉制过程随着工艺的要求，不停地改变阀板的开启度进而调整压力的变化。开炉过程处于热态运行，气流运行的不稳定性需要时刻调整比例阀的位置开启度，才能满足工艺的炉压的控制要求，进而满足合格产品收率，提高产值，增产增效。

再者，设备运行过程，挥发物在阀板的周围汇集，阀板壁上挥发物沉积，当挥发物集到一定程度，阀板卡在一定位置不能自由移动，内部电路控制超载运转，易引发机械和电路故障，炉压失去控制，设备就不能正常运行。

综上所述，需要设计一种改进的内部阀板结构，才能满足设备生产需求，大大提高设备的可靠运行效率。

实用新型内容

有鉴于此，为解决上述现有技术的不足，本实用新型的目的在于提供了一种单晶炉炉压调节装置，一方面降低了运行过程中挥发物沉积、减少负载运行过重对电路的损坏的风险；另一方面，阀板比起原来结构减小，紧贴周围有环形胶木阀套防护，机械运行的力度大大降低，阀板与环形胶木阀套的密封性能完好结合，设备压力控制稳定可靠。

为实现上述目的，本实用新型所采用的技术方案是：

一种单晶炉炉压调节装置，包括不锈钢环架、电控部分，还包括阀板和环形胶木阀套；

所述阀板的边缘呈减少接触面积的锯齿结构，所述锯齿结构的外围相配合设置环形胶木阀套，环形胶木阀套嵌于所述不锈钢环架和阀板之间，且环形胶木阀套不做运转，所述电控部分设置在不锈钢环架的一侧且分别与不锈钢环架、阀板电连接，所述电控部分带动阀板做正反转动。

进一步的，所述锯齿结构为多个V字形板依次连接且组成阀板边缘的环形结构。

进一步的，多个所述的V字形板的端部均处于同一平面上。

进一步的，所述不锈钢环架为环形结构。

进一步的，所述阀板为圆形结构。

进一步的，所述不锈钢环架与阀板形状相配合。

进一步的，所述环形胶木阀套为分别与不锈钢环架、阀板均相配合的环形结构。

进一步的，所述电控部分为电控盒，其中的内部电路控制且带动阀板做正反转动，进而调整比例阀的位置开启度。

本实用新型的有益效果是：

本实用新型中，改进的阀板减小了原来的阀板结构，并且阀板的边缘呈减少接触面积的锯齿结构，锯齿结构为多个V字形板依次连接且组成阀板边缘的环形结构，则减少了阀板与环形胶木阀套的接触面积，当有挥发物沉积时，与原来阀板摩擦力比较，本实用新型的阀板结构使得摩擦力大大降低；另外，电控部分更易于带动较小的阀板灵活运转，使用稳定可靠。具体表现在：