[实用新型]化学气相沉积装置及其电极有效
申请号: | 201921508070.2 | 申请日: | 2019-09-11 |
公开(公告)号: | CN210916245U | 公开(公告)日: | 2020-07-03 |
发明(设计)人: | 李军旗;袁晓波;陈惠;陈涛;陈万;潘飞 | 申请(专利权)人: | 深圳精匠云创科技有限公司 |
主分类号: | C23C16/27 | 分类号: | C23C16/27;C23C16/44 |
代理公司: | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人: | 叶乙梅 |
地址: | 518109 广东省深圳市龙华区龙华街*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 化学 沉积 装置 及其 电极 | ||
1.一种化学气相沉积装置,包括加热机构,所述加热机构包括电极及热丝,其特征在于:所述电极包括本体及限位件,所述热丝穿设置于所述本体中,所述限位件固定在所述本体并保持所述热丝与所述本体紧密连接。
2.如权利要求1所述的化学气相沉积装置,其特征在于:所述本体设有通孔及安装孔,所述安装孔与所述通孔连通,所述通孔用于穿设所述热丝,所述限位件穿设于所述安装孔并抵持所述热丝。
3.如权利要求2所述的化学气相沉积装置,其特征在于:所述安装孔的轴向与所述通孔的轴向相垂直。
4.如权利要求2所述的化学气相沉积装置,其特征在于:所述限位件能够沿所述安装孔移动,以改变伸入所述通孔中的长度。
5.如权利要求2所述的化学气相沉积装置,其特征在于:所述限位件螺纹连接于所述安装孔中。
6.如权利要求2所述的化学气相沉积装置,其特征在于:所述限位件包括杆体及设于所述杆体一端的止挡端,所述杆体伸入所述安装孔中,所述止挡端被所述安装孔的孔壁止挡。
7.如权利要求2所述的化学气相沉积装置,其特征在于:所述本体为圆柱体,所述通孔沿所述本体的轴向贯穿所述电极的相对两端,所述安装孔设于所述本体的周壁上并沿径向延伸与所述通孔连通。
8.一种电极,应用于化学气相沉积装置中,其特征在于:所述电极包括本体及限位件,所述本体用于套设于热丝上,所述限位件穿设于所述本体并抵持所述热丝。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的