[实用新型]化学气相沉积装置及其电极有效

专利信息
申请号: 201921508070.2 申请日: 2019-09-11
公开(公告)号: CN210916245U 公开(公告)日: 2020-07-03
发明(设计)人: 李军旗;袁晓波;陈惠;陈涛;陈万;潘飞 申请(专利权)人: 深圳精匠云创科技有限公司
主分类号: C23C16/27 分类号: C23C16/27;C23C16/44
代理公司: 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 代理人: 叶乙梅
地址: 518109 广东省深圳市龙华区龙华街*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 化学 沉积 装置 及其 电极
【权利要求书】:

1.一种化学气相沉积装置,包括加热机构,所述加热机构包括电极及热丝,其特征在于:所述电极包括本体及限位件,所述热丝穿设置于所述本体中,所述限位件固定在所述本体并保持所述热丝与所述本体紧密连接。

2.如权利要求1所述的化学气相沉积装置,其特征在于:所述本体设有通孔及安装孔,所述安装孔与所述通孔连通,所述通孔用于穿设所述热丝,所述限位件穿设于所述安装孔并抵持所述热丝。

3.如权利要求2所述的化学气相沉积装置,其特征在于:所述安装孔的轴向与所述通孔的轴向相垂直。

4.如权利要求2所述的化学气相沉积装置,其特征在于:所述限位件能够沿所述安装孔移动,以改变伸入所述通孔中的长度。

5.如权利要求2所述的化学气相沉积装置,其特征在于:所述限位件螺纹连接于所述安装孔中。

6.如权利要求2所述的化学气相沉积装置,其特征在于:所述限位件包括杆体及设于所述杆体一端的止挡端,所述杆体伸入所述安装孔中,所述止挡端被所述安装孔的孔壁止挡。

7.如权利要求2所述的化学气相沉积装置,其特征在于:所述本体为圆柱体,所述通孔沿所述本体的轴向贯穿所述电极的相对两端,所述安装孔设于所述本体的周壁上并沿径向延伸与所述通孔连通。

8.一种电极,应用于化学气相沉积装置中,其特征在于:所述电极包括本体及限位件,所述本体用于套设于热丝上,所述限位件穿设于所述本体并抵持所述热丝。

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