[实用新型]化学气相沉积装置及其电极

权利要求书

1.一种化学气相沉积装置，包括加热机构，所述加热机构包括电极及热丝，其特征在于：所述电极包括本体及限位件，所述热丝穿设置于所述本体中，所述限位件固定在所述本体并保持所述热丝与所述本体紧密连接。

2.如权利要求1所述的化学气相沉积装置，其特征在于：所述本体设有通孔及安装孔，所述安装孔与所述通孔连通，所述通孔用于穿设所述热丝，所述限位件穿设于所述安装孔并抵持所述热丝。

3.如权利要求2所述的化学气相沉积装置，其特征在于：所述安装孔的轴向与所述通孔的轴向相垂直。

4.如权利要求2所述的化学气相沉积装置，其特征在于：所述限位件能够沿所述安装孔移动，以改变伸入所述通孔中的长度。

5.如权利要求2所述的化学气相沉积装置，其特征在于：所述限位件螺纹连接于所述安装孔中。

6.如权利要求2所述的化学气相沉积装置，其特征在于：所述限位件包括杆体及设于所述杆体一端的止挡端，所述杆体伸入所述安装孔中，所述止挡端被所述安装孔的孔壁止挡。

7.如权利要求2所述的化学气相沉积装置，其特征在于：所述本体为圆柱体，所述通孔沿所述本体的轴向贯穿所述电极的相对两端，所述安装孔设于所述本体的周壁上并沿径向延伸与所述通孔连通。

8.一种电极，应用于化学气相沉积装置中，其特征在于：所述电极包括本体及限位件，所述本体用于套设于热丝上，所述限位件穿设于所述本体并抵持所述热丝。