[实用新型]化学气相沉积装置及其电极

说明书

本实用新型提出一种化学气相沉积装置及其电极，化学气相沉积装置包括加热机构，所述加热机构包括电极及热丝，所述电极包括本体及限位件，所述热丝穿设于所述本体，所述限位件穿设于所述本体并抵持所述热丝。所述电极能够防止热丝断裂。

技术领域

本实用新型涉及一种化学气相沉积装置及其电极。

背景技术

通过化学气相沉积制备金刚石膜已得到了广泛的应用。但传统的化学气相沉积装置其沉积面积较小，沉积速率较低，且受温度影响导致膜厚分布不均匀。因此，在现有的化学气相沉积装置中布建大面积热丝就成为沉积大面积金刚石的关键。现有的热丝直接穿设在电极中，容易存在接触不良或热丝与电极间容易磨损等问题。

实用新型内容

有鉴于此，有必要提供一种热丝与电极接触较好的化学气相沉积装置及其电极以解决上述问题。

一种化学气相沉积装置，包括加热机构，所述加热机构包括电极及热丝，所述电极包括本体及限位件，所述热丝穿设于所述本体，所述限位件穿设于所述本体并抵持所述热丝。

进一步地，所述本体设有通孔及安装孔，所述安装孔与所述通孔连通，所述通孔用于穿设所述热丝，所述限位件穿设于所述安装孔并抵持所述热丝。

进一步地，所述安装孔的轴向与所述通孔的轴向相垂直。

进一步地，所述限位件能够沿所述安装孔移动，以改变伸入所述通孔中的长度。

进一步地，所述限位件螺纹连接于所述安装孔中。

进一步地，所述限位件包括杆体及设于所述杆体一端的止挡端，所述杆体伸入所述安装孔中，所述止挡端被所述安装孔的孔壁止挡。

进一步地，所述本体为圆柱体，所述通孔沿所述本体的轴向贯穿所述电极的相对两端，所述安装孔设于所述本体的周壁上并沿径向延伸与所述通孔连通。

一种电极，应用于化学气相沉积装置中，所述电极包括本体及限位件，所述本体用于套设于热丝上，所述限位件穿设于所述本体并抵持所述热丝。

本实用新型的化学气相沉积装置通过在电极的本体上穿设限位件以抵持热丝。能够防止在热丝与电极连接接触不良，导致断路，热丝断裂的问题。使热丝在大面积直线型布丝时始终保持水平状态，减缓热丝应力，减小热丝断裂风险，同时方便操作布丝，从而提高了效率。

附图说明

图1是本实用新型实施方式的化学气相沉积装置的示意图。

图2是图1中加热机构的电极与热丝的剖视图。

主要元件符号说明

化学气相沉积装置 100

反应室 10

气源控制机构 20

加热机构 30

支架 31

电极 32

本体 321

通孔 3211

安装孔 3212

限位件 323