[实用新型]一种大尺寸单晶硅圆棒切割钢线用冷却装置

权利要求书

1.一种大尺寸单晶硅圆棒切割钢线用冷却装置，其特征在于，所述冷却装置设置在工作台上，包括第一喷淋管，所述第一喷淋管位于所述工作台宽度方向且对称设置在所述工作台最外侧硅圆棒的上方；所述第一喷淋管长度方向被钢线贯穿设置，所述第一喷淋管与所述钢线之间设有间隙，所述第一喷淋管长度轴线与所述钢线并行设置；所述第一喷淋管设有若干通孔，所述通孔绕设于所述第一喷淋管管壁设置。

2.根据权利要求1所述的一种大尺寸单晶硅圆棒切割钢线用冷却装置，其特征在于，所述第一喷淋管为双层结构，包括一体设置的内层管和外层管，所述钢线贯穿所述内层管设置；所述通孔贯穿所述内层管管壁设置。

3.根据权利要求2所述的一种大尺寸单晶硅圆棒切割钢线用冷却装置，其特征在于，所述通孔直径为0.5-2mm，所述通孔穿孔率为60-80％。

4.根据权利要求3所述的一种大尺寸单晶硅圆棒切割钢线用冷却装置，其特征在于，所述外层管与所述内层管均为筒柱型结构，所述外层管与所述内层管为同轴线设置，且在所述外层管与所述内层管之间设有通道。

5.根据权利要求4所述的一种大尺寸单晶硅圆棒切割钢线用冷却装置，其特征在于，所述外层管与所述内层管之间的上端口和下端口均为封闭设置。

6.根据权利要求5所述的一种大尺寸单晶硅圆棒切割钢线用冷却装置，其特征在于，在所述外层管与所述内层管之间的上端面和下端面中各至少设有一个进水口，所述进水口通过水管与外接设置的冷却液桶连通。

7.根据权利要求6所述的一种大尺寸单晶硅圆棒切割钢线用冷却装置，其特征在于，所述第一喷淋管垂直于所述硅圆棒长度方向，且靠近设置在所述硅圆棒上方的导线轮处设置。

8.根据权利要求1-7任一项所述的一种大尺寸单晶硅圆棒切割钢线用冷却装置，其特征在于，还包括固定架，所述固定架对称设置在所述第一喷淋管两端，所述固定架一端与所述第一喷淋管连接，另一端固定在垂直于所述工作台上端面的架体上。

9.根据权利要求8所述的一种大尺寸单晶硅圆棒切割钢线用冷却装置，其特征在于，还包括第二喷淋管，所述第二喷淋管置于所述硅圆棒正上方，所述第二喷淋管垂直于所述硅圆棒长度方向设置；且所述第二喷淋管与所述第一喷淋管垂直设置。

10.根据权利要求9所述的一种大尺寸单晶硅圆棒切割钢线用冷却装置，其特征在于，所述第二喷淋管的长度大于所述硅圆棒的直径。