[实用新型]一种冷却导流装置及硅片切割系统

权利要求书

1.一种冷却导流装置，用于硅片切割过程中冷却液的导流，其特征在于，包括：

具有出液口(71)的盛液槽(7)；

导流板(8)，所述导流板(8)包括导流主板(82)和连接板(81)，通过连接板(81)使所述导流主板(82)与所述盛液槽(7)的出液口倾斜连接；

漫液板(5)，所述漫液板(5)设置在所述连接板(81)背离所述盛液槽(7)的底部的一面，并且所述漫液板(5)具有向远离连接板(81)方向的凸起。

2.根据权利要求1所述的冷却导流装置，其特征在于，所述盛液槽(7)的出液口(71)到盛液槽(7)底部的高度低于盛液槽(7)的侧壁到盛液槽(7)的槽底的高度。

3.根据权利要求1所述的冷却导流装置，其特征在于，所述导流主板(82)和所述连接板(81)连接的边长与所述连接板(81)和所述盛液槽(7)的出液口(71)连接的边长尺寸相同。

4.根据权利要求1所述的冷却导流装置，其特征在于，所述导流主板(82)的倾斜方向为所述导流主板(82)自由端向盛液槽(7)底部的方向倾斜。

5.根据权利要求1所述的冷却导流装置，其特征在于，所述漫液板(5)底部平直，所述漫液板(5)的凸起到所述漫液板(5)底部的高度一致。

6.根据权利要求5所述的冷却导流装置，其特征在于，所述漫液板(5)的横截面为等腰三角形。

7.根据权利要求1所述的冷却导流装置，其特征在于，所述冷却导流装置还包括挡液板(4)，所述挡液板(4)相对的两端分别与所述盛液槽(7)的侧壁连接，形成由挡液板(4)分隔形成的第一容纳空间(72)和第二容纳空间(73)，所述第一容纳空间(72)和第二容纳空间(73)靠近盛液槽(7)底部互相连通；能够使切割液进入第一容纳空间(72)后绕过挡液板(4)从第二容纳空间(73)溢出，然后经导流板(8)流出。

8.根据权利要求7所述的冷却导流装置，其特征在于，所述冷却导流装置还包括过滤箱(1)，所述过滤箱(1)是包括具有进液口(11)和过滤底板的腔体，所述过滤箱(1)的过滤底板容置于所述盛液槽(7)的第一容纳空间(72) 中。

9.根据权利要求8所述的冷却导流装置，其特征在于，所述过滤箱(1)的腔体内部设置有过滤减压板，将所述过滤箱(1)的腔体分隔成上腔室和下腔室。

10.根据权利要求9所述的冷却导流装置，其特征在于，所述过滤减压板开设有一级减压孔(131)；所述过滤底板开设有二级减压孔(141)。

11.根据权利要求10所述的冷却导流装置，其特征在于，所述一级减压孔(131)为四条，两两并排设置，所述一级减压孔(131)的宽度为2～6mm。

12.根据权利要求11所述的冷却导流装置，其特征在于，所述二级减压孔(141)为三条，呈一字型排列，所述二级减压孔(141)的宽度为2～8mm。

13.根据权利要求1所述的冷却导流装置，其特征在于，在所述连接板(81)上与所述导流主板(82)连接的一侧设有第一弧形凹槽(88)，在所述冷却导流装置的横截面上所述第一弧形凹槽(88)开口与所述盛液槽(7)开口朝向相同。

14.根据权利要求1所述的冷却导流装置，其特征在于；所述导流主板(82)的远离所述连接板(81)的一侧连接有底端直板(83)，所述底端直板(83)设有第二弧形凹槽(89)，在所述冷却导流装置的横截面上所述第二弧形凹槽(89)开口与所述盛液槽(7)开口朝向相同。

15.根据权利要求13所述的冷却导流装置，其特征在于，所述第一弧形凹槽(88)的圆弧半径r为1～8mm。