[实用新型]一种点源坩埚的筛网装置及点源坩埚有效
申请号: | 201921526708.5 | 申请日: | 2019-09-12 |
公开(公告)号: | CN210657114U | 公开(公告)日: | 2020-06-02 |
发明(设计)人: | 张孟涛;张竹平;黎晓毅;张醒波;张润刚 | 申请(专利权)人: | 深圳隽辉自动化设备有限公司 |
主分类号: | C23C14/26 | 分类号: | C23C14/26;C23C14/12 |
代理公司: | 深圳市金信启明知识产权代理有限公司 44484 | 代理人: | 周斌 |
地址: | 518000 广东省深圳市福田区华强北*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 坩埚 筛网 装置 | ||
1.一种点源坩埚的筛网装置,其特征在于,包括弹性卡箍、筛网本体及筛网盖体;
弹性卡箍支撑所述筛网本体,筛网盖体设于筛网本体上部并与筛网本体锁紧连接;
所述筛网本体内设置有连通筛网本体上下两端的第一筛网层,所述筛网盖体内设置有连通筛网盖体上下两端的第二筛网层,且第一筛网层与第二筛网层之间形成一材料填充腔隙。
2.根据权利要求1所述的点源坩埚的筛网装置,其特征在于,所述弹性卡箍、筛网本体及筛网盖体采用不锈钢或钛材料制作。
3.根据权利要求1所述的点源坩埚的筛网装置,其特征在于,所述弹性卡箍包括首尾非闭合的环状卡箍本体、设置在卡箍本体两端向内弯折的调节触头,
所述卡箍本体环向间隔设置有多个向内凸出的支撑部,所述支撑部及调节触头接触所述筛网本体的底端用于支撑筛网本体。
4.根据权利要求1所述的点源坩埚的筛网装置,其特征在于,所述筛网本体和筛网盖体均为筒状,筛网本体的底端设置有所述第一筛网层,筛网盖体的底端设置有所述第二筛网层,所述筛网盖体于筛网本体的上部套设于筛网本体内。
5.根据权利要求4所述的点源坩埚的筛网装置,其特征在于,所述筛网本体的内壁于第一筛网层上方设置有承台,所述筛网本体于承台上方环向间隔设置有多个向内凸出的卡块;
所述筛网盖体套设于筛网本体内并可旋转,其底壁与承台抵接,其顶壁与卡块抵接;
所述筛网盖体的外壁竖向设置有多个与筛网本体的卡块对应的安装槽,安装槽用于筛网盖体从筛网本体的卡块位置处装入或取出。
6.根据权利要求5所述的点源坩埚的筛网装置,其特征在于,所述筛网盖体的内壁于第二筛网层的上方设置有旋转手柄。
7.一种点源坩埚,其特征在于,包括如权利要求1-6任一项所述的筛网装置,还包括中空的坩埚本体,所述筛网装置通过弹性卡箍卡设于坩埚本体的内壁。
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