[实用新型]一种点源坩埚的筛网装置及点源坩埚

说明书

本实用新型公开了一种点源坩埚的筛网装置及点源坩埚，包括弹性卡箍、筛网本体及筛网盖体；弹性卡箍支撑所述筛网本体，筛网盖体设于筛网本体上部并与筛网本体锁紧连接；所述筛网本体内设置有连通筛网本体上下两端的第一筛网层，所述筛网盖体内设置有连通筛网盖体上下两端的第二筛网层，且第一筛网层与第二筛网层之间形成一材料填充腔隙。本实用新型使得点源坩埚的筛网装置具有通用性，能适应不同内径尺寸的点源坩埚而避免浪费，同时能防止SiC颗粒飞溅。

技术领域

本实用新型涉及OLED加工设备技术领域，尤其涉及一种点源坩埚的筛网装置及点源坩埚。

背景技术

小分子有机发光二极体(OLED)制程工艺较成熟，但有机发光材料极易被氧气和水蒸气所破坏，故成膜过程中要使用真空系统。而真空蒸镀法又分为电阻加热蒸镀法、电子束蒸镀法等。由于电子束的能量过大，会导致有机物自身分解，因此对于OLED器件来说，有机物层的蒸镀几乎都是用电阻加热蒸镀。常见的电阻加热蒸镀法是在真空蒸镀机中放盛有有机物的坩埚，通过对其内部的电阻丝通电加热，使有机材料蒸发或气化，然后向固定的基板附着并最终形成膜层。

在OLED在制造过程中，涉及真空蒸镀的有机膜层包含HIL、HTL、EML(R/G/B色阻)、ETL、EIL、Cathode和Charge generation layer等功能层，分别以薄膜的形式沉积在TFT基板表面。由于工艺参数不同，不同的功能层需要在不同的蒸镀机腔体内进行，同时在蒸镀完成后通过机械手臂将基板在不同的腔体之间进行转移。

蒸镀过程中的蒸发源分为线源坩埚和点源坩埚。在点源坩埚作为蒸发源时点源坩埚内放置有筛网装置，筛网装置的下方放置有机材料，筛网装置设置有双层筛网，其内放置填充有SiC材料层,电阻丝加热后使点源坩埚内的有机材料升华后，气化的有机分子通过筛网装置的底层筛网向SiC层逸出，然后通过上层筛网有序的向玻璃基板扩散，并在单个点源坩埚负责蒸镀的基板范围内，形成薄厚和密度均一、表面平整的膜层。

由于不同有机膜功能层如HIL、HTL、EML、ETL、EIL等其工艺条件的不同、及材料的更换等需要在不同腔体尺寸的点源坩埚内进行，而现有技术中，筛网装置一般为固定尺寸，不可调整，点源坩埚尺寸变化后，需要配置对应尺寸的筛网装置，以前的筛网装置会进行报废处理而导致成本的浪费，同时现有的筛网装置并没有对双层筛网进行紧固处理，在蒸镀过程中颗粒状的SiC会因气相物质压力过大而导致飞溅。

因此，现有技术还有待发展。

实用新型内容

鉴于上述现有技术的不足之处，本实用新型的目的在于提供一种点源坩埚的筛网装置及点源坩埚，旨在使得点源坩埚的筛网装置具有通用性，能适应不同内径尺寸的点源坩埚，同时能防止SiC颗粒飞溅。

为实现上述目的，本实用新型采取了以下技术方案：

一种点源坩埚的筛网装置，其中，包括弹性卡箍、筛网本体及筛网盖体；

弹性卡箍支撑所述筛网本体，筛网盖体设于筛网本体上部并与筛网本体锁紧连接；

所述筛网本体内设置有连通筛网本体上下两端的第一筛网层，所述筛网盖体内设置有连通筛网盖体上下两端的第二筛网层，且第一筛网层与第二筛网层之间形成一材料填充腔隙。

其中，所述弹性卡箍、筛网本体及筛网盖体采用不锈钢或钛材料制作。

其中，所述弹性卡箍包括首尾非闭合的环状卡箍本体、设置在卡箍本体两端向内弯折的调节触头，

所述卡箍本体环向间隔设置有多个向内凸出的支撑部，所述支撑部及调节触头接触所述筛网本体的底端用于支撑筛网本体。

其中，所述筛网本体和筛网盖体均为筒状，筛网本体的底端设置有所述第一筛网层，筛网盖体的底端设置有所述第二筛网层，所述筛网盖体于筛网本体的上部套设于筛网本体内。