[实用新型]夹紧定位装置以及石墨舟自动装卸设备

说明书

本实用新型涉及一种夹紧定位装置以及石墨舟自动装卸设备，夹紧定位装置包括左右夹紧定位机构和前后夹紧定位机构，通过左右夹紧定位机构分别对第一物体和第二物体的左右两端进行夹紧定位，从而在第一方向上保证第一物体和第二物体的定位精度；通过前后夹紧定位机构分别对第一物体和第二物体的前后两端进行夹紧定位，从而在第二方向上保证第一物体和第二物体的定位精度。由于夹紧定位装置一次可以同时夹紧定位两个物体，因此，提高了石墨舟自动装卸设备的生产效率，从而能够满足产能日益增长的PECVD真空镀膜设备。

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池领域，尤其涉及一种夹紧定位装置以及石墨舟自动装卸设备。

背景技术

在硅基体太阳能电池的制造工艺过程中，通常采用薄膜沉积工艺进行硅片的镀膜，例如，可采用PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition，等离子增强化学气相沉积)的沉积工艺对硅片进行氮化硅的真空镀膜，使硅片表面形成防反射层(钝化层)。

在进行硅片表面镀膜时，将未镀膜的硅片插入PECVD真空镀膜设备的载片器上，通常载片器由石墨舟来实现，即，将未镀膜的硅片插入石墨舟，并通过卡点卡紧硅片，然后将载有硅片的石墨舟放置在PECVD真空镀膜设备的腔体内，采用PECVD工艺对硅片进行镀膜；镀膜结束后，从真空镀膜设备的腔体中取出石墨舟，将镀膜的硅片从石墨舟上拆卸下来，完成对硅片的镀膜。

在现有技术中，由于夹紧定位装置存在设计缺陷，导致石墨舟自动装卸设备的生产效率较低，无法满足产能日益增长的PECVD真空镀膜设备。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种夹紧定位装置以及石墨舟自动装卸设备，旨在解决现有技术中由于夹紧定位装置存在设计缺陷，导致石墨舟自动装卸设备的生产效率较低的技术问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供的技术方案为：

一种夹紧定位装置，用于夹紧定位第一物体和第二物体，包括：左右夹紧定位机构，所述左右夹紧定位机构包括第一定位挡板、第一推动组件以及第二推动组件，所述第一定位挡板位于所述第一物体和所述第二物体之间，所述第一推动组件在第一方向上推动所述第一物体向所述第一定位挡板移动，直至夹紧所述第一物体为止；所述第二推动组件在所述第一方向上推动所述第二物体向所述第一定位挡板移动，直至夹紧所述第二物体为止；前后夹紧定位机构，所述前后夹紧定位机构包括第二定位挡板和第三推动组件，所述第一物体、所述第二物体位于所述第二定位挡板和所述第三推动组件之间，所述第三推动组件在第二方向上分别推动所述第一物体、所述第二物体向所述第二定位挡板移动，直至夹紧所述第一物体、所述第二物体为止，其中，所述第一方向和所述第二方向相互垂直。

其中，所述第一推动组件包括第一气缸和第一推板，所述第一推板安装在所述第一气缸的活塞杆上，所述第一气缸驱动所述第一推板移动，所述第一推板推动所述第一物体向所述第一定位挡板移动，从而使所述第一推板和所述第一定位挡板夹紧所述第一物体；以及所述第二推动组件包括第二气缸和第二推板，所述第二推板安装在所述第二气缸的活塞杆上，所述第二气缸驱动所述第二推板移动，所述第二推板推动所述第二物体向所述第一定位挡板移动，从而使所述第二推板和所述第一定位挡板夹紧所述第二物体。

其中，所述第三推动组件包括第三气缸和第三推板，所述第三推板安装在所述第三气缸的活塞杆上，所述第三气缸驱动所述第三推板移动，所述第三推板分别推动所述第一物体、所述第二物体向所述第二定位挡板移动，从而使第三推板和第二定位挡板分别夹紧所述第一物体和所述第二物体。