[实用新型]一种太阳能硅片用清洗装置有效

专利信息
申请号: 201921541588.6 申请日: 2019-09-17
公开(公告)号: CN210296315U 公开(公告)日: 2020-04-10
发明(设计)人: 郝红月;谭世杰;李方乐;辛超;古元甲;艾传令;张悦;马淑芳;杨萌萌;赵灿;邱长兴;田志民;王涛 申请(专利权)人: 天津市环欧半导体材料技术有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;B08B3/04;B08B3/08
代理公司: 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 代理人: 栾志超
地址: 300384 天津市滨海*** 国省代码: 天津;12
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 太阳能 硅片 清洗 装置
【权利要求书】:

1.一种太阳能硅片用清洗装置,其特征在于,包括框架,在所述框架上至少设有两组支架,所述支架固定设置在所述框架长度方向上;在所述支架长度方向设有若干第一通孔,所述第一通孔贯穿所述支架高度方向;在所述支架上方至少可设有一组花篮,所述花篮间隔放置在所述支架长度方向上,所述花篮宽度方向与所述支架长度方向垂直设置;所述第一通孔位于所述花篮下方,且所述第一通孔上端面与所述花篮下端面之间设有间隙。

2.根据权利要求1所述的一种太阳能硅片用清洗装置,其特征在于,所述支架上端面设有一通道,所述通道置于所述支架长度轴线方向,所述第一通孔位于所述通道上。

3.根据权利要求2所述的一种太阳能硅片用清洗装置,其特征在于,在所述支架上,所述通道两侧对称设有向上延伸设置的凸梁;所述凸梁顶部与所述花篮下端面接触,所述通道置于相邻所述凸梁连接位置处。

4.根据权利要求3所述的一种太阳能硅片用清洗装置,其特征在于,在所述支架横截面上,单侧所述凸梁的最大宽度大于所述通道的最大宽度。

5.根据权利要求2-4任一项所述的一种太阳能硅片用清洗装置,其特征在于,在所述支架宽度方向还设有若干第二通孔,所述第二通孔与所述第一通孔交叉设置且位于所述通道下方。

6.根据权利要求5所述的一种太阳能硅片用清洗装置,其特征在于,所述第二通孔贯穿所述第一通孔设置。

7.根据权利要求6所述的一种太阳能硅片用清洗装置,其特征在于,所述第二通孔最高点的位置低于所述花篮最低点的位置。

8.根据权利要求2-4、6-7任一项所述的一种太阳能硅片用清洗装置,其特征在于,所述框架包括若干横架和竖架,所述竖架对称固定设置在所述横架两端;所述横架被所述支架贯穿且垂直设置。

9.根据权利要求8所述的一种太阳能硅片用清洗装置,其特征在于,所述支架与所述横架固定连接;所述横架高度大于所述支架高度。

10.根据权利要求9所述的一种太阳能硅片用清洗装置,其特征在于,在所述竖架内测设有若干向内延伸设置的固定块,所述固定块与所述竖架并行设置且对称设置在所述框架长度轴线两侧,在所述固定块上设有安装孔。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于天津市环欧半导体材料技术有限公司,未经天津市环欧半导体材料技术有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201921541588.6/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top