[实用新型]一种太阳能硅片用清洗装置有效
申请号: | 201921541588.6 | 申请日: | 2019-09-17 |
公开(公告)号: | CN210296315U | 公开(公告)日: | 2020-04-10 |
发明(设计)人: | 郝红月;谭世杰;李方乐;辛超;古元甲;艾传令;张悦;马淑芳;杨萌萌;赵灿;邱长兴;田志民;王涛 | 申请(专利权)人: | 天津市环欧半导体材料技术有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;B08B3/04;B08B3/08 |
代理公司: | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人: | 栾志超 |
地址: | 300384 天津市滨海*** | 国省代码: | 天津;12 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 太阳能 硅片 清洗 装置 | ||
1.一种太阳能硅片用清洗装置,其特征在于,包括框架,在所述框架上至少设有两组支架,所述支架固定设置在所述框架长度方向上;在所述支架长度方向设有若干第一通孔,所述第一通孔贯穿所述支架高度方向;在所述支架上方至少可设有一组花篮,所述花篮间隔放置在所述支架长度方向上,所述花篮宽度方向与所述支架长度方向垂直设置;所述第一通孔位于所述花篮下方,且所述第一通孔上端面与所述花篮下端面之间设有间隙。
2.根据权利要求1所述的一种太阳能硅片用清洗装置,其特征在于,所述支架上端面设有一通道,所述通道置于所述支架长度轴线方向,所述第一通孔位于所述通道上。
3.根据权利要求2所述的一种太阳能硅片用清洗装置,其特征在于,在所述支架上,所述通道两侧对称设有向上延伸设置的凸梁;所述凸梁顶部与所述花篮下端面接触,所述通道置于相邻所述凸梁连接位置处。
4.根据权利要求3所述的一种太阳能硅片用清洗装置,其特征在于,在所述支架横截面上,单侧所述凸梁的最大宽度大于所述通道的最大宽度。
5.根据权利要求2-4任一项所述的一种太阳能硅片用清洗装置,其特征在于,在所述支架宽度方向还设有若干第二通孔,所述第二通孔与所述第一通孔交叉设置且位于所述通道下方。
6.根据权利要求5所述的一种太阳能硅片用清洗装置,其特征在于,所述第二通孔贯穿所述第一通孔设置。
7.根据权利要求6所述的一种太阳能硅片用清洗装置,其特征在于,所述第二通孔最高点的位置低于所述花篮最低点的位置。
8.根据权利要求2-4、6-7任一项所述的一种太阳能硅片用清洗装置,其特征在于,所述框架包括若干横架和竖架,所述竖架对称固定设置在所述横架两端;所述横架被所述支架贯穿且垂直设置。
9.根据权利要求8所述的一种太阳能硅片用清洗装置,其特征在于,所述支架与所述横架固定连接;所述横架高度大于所述支架高度。
10.根据权利要求9所述的一种太阳能硅片用清洗装置,其特征在于,在所述竖架内测设有若干向内延伸设置的固定块,所述固定块与所述竖架并行设置且对称设置在所述框架长度轴线两侧,在所述固定块上设有安装孔。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于天津市环欧半导体材料技术有限公司,未经天津市环欧半导体材料技术有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201921541588.6/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种建筑施工用激光水平仪
- 下一篇:组合式多功能绝缘操作杆
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造