[实用新型]一种太阳能硅片用清洗装置有效

专利信息
申请号: 201921541588.6 申请日: 2019-09-17
公开(公告)号: CN210296315U 公开(公告)日: 2020-04-10
发明(设计)人: 郝红月;谭世杰;李方乐;辛超;古元甲;艾传令;张悦;马淑芳;杨萌萌;赵灿;邱长兴;田志民;王涛 申请(专利权)人: 天津市环欧半导体材料技术有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;B08B3/04;B08B3/08
代理公司: 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 代理人: 栾志超
地址: 300384 天津市滨海*** 国省代码: 天津;12
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摘要:
搜索关键词: 一种 太阳能 硅片 清洗 装置
【说明书】:

本实用新型提供一种太阳能硅片用清洗装置,包括框架,在所述框架上至少设有两组支架,所述支架固定设置在所述框架长度方向上;在所述支架长度方向设有若干第一通孔,所述第一通孔贯穿所述支架高度方向;在所述支架上方至少可设有一组花篮,所述花篮间隔放置在所述支架长度方向上,所述花篮宽度方向与所述支架长度方向垂直设置;所述第一通孔位于所述花篮下方,且所述第一通孔上端面与所述花篮下端面之间设有间隙。本实用新型清洗装置,支架的设置可使花篮中的硅片被抬高,减少硅片与花篮底部齿槽之间储水区的接触面积,进而提高硅片的清洗效果,降低硅片水印,提升单晶品质,降低生产成本。

技术领域

本实用新型属于太阳能硅片清洗装置的技术领域,尤其是涉及一种太阳能硅片用清洗装置。

背景技术

随着光伏行业的快速发展,市场竞争日益激烈,各大生产商以降本增效为目的,开始研发新的加工方式。在现有清洗过程中,硅片均为立面放置在花篮中,花篮的底部设有若干间隔设置的凹槽,硅片即放置在凹槽内,凹槽可使硅片隔开放置在花篮中。而在清洗槽内,硅片与花篮凹槽的底部因位于槽底深水区,在花篮凹槽与硅片之间会形成一个储水区。硅片在清洗过程中,发现部分硅片无法洗净干净,在硅片下端部出现很多水印,而水印是硅片脏花质量问题的主要之一。研究中发现,在慢提拉槽清洗槽内,花篮直接放置在托盘架上,在硅片下端部的花篮底部凹槽内,因花篮底部太低,其与槽内水液接触面积较大,使得在花篮底部的凹槽内容易形成一个储水区,硅片在该储水区内时间过程,在慢提拉过程中,硅片下端部一直被储水区中的水浸没,无法及时沥干,进而使得硅片下端部容易形成水印,进而使得硅片需要多次重新清洗,生产效率低且生产成本高。

发明内容

本实用新型要解决的问题是提供一种太阳能硅片用清洗装置,解决硅片在清洗过程中的水印问题,提高生产效率,保证硅片质量,降低生产成本。

为解决上述技术问题,本实用新型采用的技术方案是:

一种太阳能硅片用清洗装置,包括框架,在所述框架上至少设有两组支架,所述支架固定设置在所述框架长度方向上;在所述支架长度方向设有若干第一通孔,所述第一通孔贯穿所述支架高度方向;在所述支架上方至少可设有一组花篮,所述花篮间隔放置在所述支架长度方向上,所述花篮宽度方向与所述支架长度方向垂直设置;所述第一通孔位于所述花篮下方,且所述第一通孔上端面与所述花篮下端面之间设有间隙。

进一步的,所述支架上端面设有一通道,所述通道置于所述支架长度轴线方向,所述第一通孔位于所述通道上。

进一步的,在所述支架上,所述通道两侧对称设有向上延伸设置的凸梁;所述凸梁顶部与所述花篮下端面接触,所述通道置于相邻所述凸梁连接位置处。

进一步的,在所述支架横截面上,单侧所述凸梁的最大宽度大于所述通道的最大宽度。

进一步的,在所述支架宽度方向还设有若干第二通孔,所述第二通孔与所述第一通孔交叉设置且位于所述通道下方。

进一步的,所述第二通孔贯穿所述第一通孔设置。

进一步的,所述第二通孔最高点的位置低于所述花篮最低点的位置。

进一步的,所述框架包括若干横架和竖架,所述竖架对称固定设置在所述横架两端;所述横架被所述支架贯穿且垂直设置。

进一步的,所述支架与所述横架固定连接;所述横架高度大于所述支架高度。

进一步的,在所述竖架内测设有若干向内延伸设置的固定块,所述固定块与所述竖架并行设置且对称设置在所述框架长度轴线两侧,在所述固定块上设有安装孔。

与现有技术相比,采用本实用新型设计的清洗装置,在托盘的框架上设置专用的支架以抬高花篮底部的高度,进而可减少硅片与花篮底部凹槽中储水区的接触面积,可使硅片表面水液及时被烘干使硅片表面的水液及时沥干,进而可降低硅片下端部的水印,保证清洗质量,提高清洗效果,降低生产成本。

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